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11.
为了研究电推进羽流对推力器及航天器造成的溅射腐蚀作用,采用蒙特卡罗方法对羽流等离子体对材料的溅射进行模拟,研究了溅射的级联碰撞机理,并开展了Xe离子正入射、斜入射Cu材料的溅射率、溅射产物的能量分布以及空间角分布的研究.结果显示,蒙特卡罗方法对溅射率和能量分布的计算结果与试验结果吻合较好,误差<30%,但是斜入射溅射率...  相似文献   
12.
具有耐腐蚀、热膨胀系数低等诸多优良物理化学特性的石英玻璃在高性能光学系统中被广泛使用。要求元件达到纳米级别的表面粗糙度,而且没有损伤层和残余应力,因此精加工之后的超精密抛光工序尤为重要。本文介绍了气囊、磁流变、弹性发射、离子束等几种石英玻璃的精密抛光方法,侧重阐述了国内外等离子体的抛光技术,包括等离子体辅助化学刻蚀、等离子体喷射加工、等离子化学蒸发加工研究进展及取得的成果;且对等离子体的未来发展进行概述。  相似文献   
13.
反台晶体及其应用   总被引:2,自引:0,他引:2  
介绍了应用离子束刻蚀技术制作高基频反台晶体谐振器及反台晶体谐振器的应用。  相似文献   
14.
采用ZDH-100型号离子束复合沉积设备沉积WS_2-Ti-Ag复合薄膜,基材为轴承钢和单晶硅(100).采用场发射扫描电子显微镜、XRD衍射仪,检测复合薄膜的表面形貌、微观结构.采用球-盘式摩擦磨损试验机,对复合薄膜在大气环境中的摩擦性能进行了研究.结果表明:采用离子束辅助沉积技术制备的WS_2-Ti-Ag复合薄膜是非晶态薄膜;并且随法向载荷的增加,复合薄膜的摩擦因数减小,摩擦状态越稳定,耐磨寿命越短.  相似文献   
15.
综述了离子束增强沉积法的原理、特点及在模具表面改性中的应用。  相似文献   
16.
以列表形式给出历代印刷电路板(PCB)的发展概况,介绍现代PCB的技术特征,认为CAD布线与激光光绘仪制版技术、金属化技术、孔化技术、材料技术和测试技术是发展PCB的关键技术,并对这些技术进行了分析。  相似文献   
17.
离子束加工中全频段误差的演变   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   
18.
目前针对国内薄膜瞬态热流传感器一致性较差、制备工艺不成熟等问题,提出了一种基于光刻工艺和离子束溅射镀膜工艺的制备方法,200对T型金属薄膜热电偶沉积在10mm×10mm的水冷块上,测量1μm的氧化铝热阻层温差,从而得到瞬态热流密度值。对新型高温瞬态热流密度传感器进行比对法标定,一致性误差为0.211%,即工艺的一致性约为99.79%。实验表明,研制的新型高温瞬态热流密度传感器的一致性好,制备工艺具备良好重复性和可移植性,能够满足高温瞬态热流检测需要,为热流传感器的推广应用及标准化、批量化生产提供了良好的技术支撑。  相似文献   
19.
激光切割是一种加工精度高、速度快、应用广泛的切割技术,本文从加工能力和成本两个方面,介绍了激光切割与细等离子束切割、带磨料高压水切割之间的相同点和不同点。  相似文献   
20.
高能束流加工技术国家重点实验室简介由中国航空工业总公司北京航空工艺研究所承建的“高能束流加工技术重点实验室”是国防科工委批准建立的国家级重点实验室,坐落在北京东郊八里桥航空工艺研究所内,1995年11月通过验收并正式投入运行,向国内外开放。高能束流加...  相似文献   
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