| 反台晶体及其应用 |
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| 引用本文： | 雷震寰,于小亭.反台晶体及其应用[J].宇航计测技术,2005,25(1):49-53. |
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| 作者姓名： | 雷震寰 于小亭 |
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| 作者单位： | 山东大学物理与微电子学院,济南,250100 |
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| 摘 要： | 介绍了应用离子束刻蚀技术制作高基频反台晶体谐振器及反台晶体谐振器的应用。
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| 关 键 词： | 离子束刻蚀 反台晶体 谐振器 晶体滤波器 |
| 文章编号： | 1000-7202(2005)01-0049-05 |
| 修稿时间： | 2004年7月2日 |
Production and Application of the Inverted Mesa Crystal Resonators |
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| LEI Zhen-huan,YU Xiao-ting.Production and Application of the Inverted Mesa Crystal Resonators[J].Journal of Astronautic Metrology and Measurement,2005,25(1):49-53. |
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| Authors: | LEI Zhen-huan YU Xiao-ting |
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| Abstract: | Introduces the production of the high frequency fundamental-mode inverted mesa crystal resonators with ion beam etching and the application of inverted mesa crystal resonators. |
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| Keywords: | Ion beam etching Inverted mesa crystal Crystal resonators Crystal filter |
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