纳米胶体射流抛光技术综述

纳米胶体射流抛光技术是一种超光滑表面加工方法,加工范围广,具有广泛的应用前景。本文回顾了纳米胶体射流抛光技术的提出以及目前的研究现状,最后对其今后的发展进行了简单展望。     

液流变加工技术的探索性研究

研究利用纳米SiC悬浊液作为对光学玻璃K9超光滑加工的载体,配制了适合液流变纳米加工,具有较好分散性和稳定性的纳米SiC颗粒悬浊液,研究了液流变纳米加工的机理,并用该悬浊液对光学玻璃K9进行试验加工,结果显示,最终得到的光学玻璃K9表面经过AFM测试,得到Ra=0.84nm。     

功率谱密度(PSD)在评价超精密光学表面中的应用研究

用原子力显微镜对不同工艺下获得的超光滑反射镜基片进行了功率谱密度(PSD)检测,并对结果进行分析,以指导光学元件加工。     

浮法抛光在金属纳米级超光滑表面加工中的应用

介绍了浮法抛光的机械结构与抛光原理,并采用这种技术在CJY500超精密研磨机上进行长方形GCr15轴承钢工件超光滑表面的工艺试验,成功获得了无加工变质层的金属纳米级超光滑表面,拓展了浮法抛光技术的应用范围,对于金属工件纳米级超光滑表面的加工具有参考价值.     

基于杂质元素控制工艺降低熔石英元件损伤密度实验研究

为降低熔石英元件的损伤密度,本文提出了磁流变抛光与HF酸刻蚀组合工艺降低杂质元素含量的方法。对熔石英样品进行磁流变抛光和HF酸刻蚀,测试表面的杂质元素相对含量以及355nm激光辐照下的损伤密度。磁流变抛光后,熔石英元件表面的Ce元素相对含量由2694当量降至10当量以下,但Fe元素相对含量由376.2当量上升至4333当量,8J/cm2通量下损伤密度由0.49个/mm2增大为0.90个/mm2;磁流变抛光与HF酸刻蚀后,Fe元素相对含量下降至1951当量,损伤密度为0.042个/mm2。实验结果表明,磁流变抛光可以去除前级加工引入的Ce元素,但是会引入Fe元素,导致损伤密度上升。HF酸刻蚀可以有效降低杂质元素含量,降低损伤密度。     

熔石英光学元件激光阈值提升仿真与工艺研究

为实现熔石英光学元件的高激光损伤阈值加工,研究了磁流变抛光+HF酸洗工艺提升阈值的过程。通过磁流变抛光+HF酸洗加工实验、测量表面缺陷形貌演变和有限时域差分算法(FDTD)仿真,认为该工艺改善破碎型缺陷,减弱光场调制作用,实现阈值的提升。     

实现高效率低损伤研磨加工的磨料优化研究

大功率激光系统对于熔石英光学元件提出了苛刻的加工要求,研磨作为加工环节之一,对于光学元件的加工周期和损伤控制具有非常重要的作用。采用计算机控制小磨头方法进行研磨加工时,在加工工艺参数相同的条件下,磨料是直接决定效率和损伤的关键因素。本文分别从材料去除效率和研磨加工损伤两方面对磨料进行对比分析,通过理论仿真得出磨料的规律特性,再结合实验研究进行规律验证,基于高效率和低损伤进行磨料优化选取,并讨论分别给出粗研、精研的磨料和工艺。     

微细电解射流喷射装置研制与工艺试验

为提高微细电解射流加工效率及加工质量,研制了专用喷射装置,并利用该装置进行了初步工艺试验。结果证明该装置保证了电解液在其腔体中能够得到充分"负极化",且能获得满足加工要求的稳定破碎长度,满足了电解射流加工试验要求。     

超高反射率的激光反射镜制造中的波度

分析了超光滑反射镜基片的表面波度对反射率的影响。利用Form Talysurf轮廓仪和高分辨率激光轮廓仪对经古典抛光法加工的基片进行检测,其表面波度的波幅为5～30nm,波距为100～150μm。还分析了古典抛光法表面波度的形成规律,并给出了实测结果。     

慢刀伺服加工自由曲面的表面形貌预测

本文通过建立自由曲面车削加工的仿真预测模型,在加工前进行参数优选.该模型考虑了刀具几何形状、切削用量及刀具轨迹点和插补方法对加工后自由曲面的表面形貌的影响.对渐进式近视镜片光学元件进行了加工实验,实测粗糙度R_a=31nm,仿真得到粗糙度R_a=23nm.实验验证了仿真模型的有效性.     

基于超光滑表面工艺过程的PSD评价技术研究

基于功率谱密度简化公式,通过数据拟合提取出PSD曲线的两个重要评价参数.研究PSD曲线变化与超光滑表面加工工艺相关性,提出基于超光滑表面工艺过程的PSD评价技术,以指导工艺改进和新工艺的开发.     

蓝宝石衬底的超光滑表面加工进展

回顾了(0001)面蓝宝石衬底在LED的重要作用及其磨粒加工方法的发展进程.归纳了磨粒加工在蓝宝石衬底的超光滑制备过程中的应用现状,分别对磨削、机械抛光、干式机械化学抛光、湿式机械化学和化学机械抛光在蓝宝石衬底中的应用进行了总结和分析,对比了不同方法对蓝宝石衬底的加工损伤特性和优缺点.     

变栅距光栅线位移传感器的温度影响分析

变栅距光栅线位移传感器工程样机完成后,进行了常态性能试验及环境试验,针对试验中出现的温度漂移问题,通过理论分析、试验验证、软件仿真,证实光栅组件的双金属片式翘曲为产生温漂问题的主要原因,并利用ANSYS-Workbench模拟得到解决方案,通过改进后的筒状腔体结构,使得温漂量值从12nm降到2nm以内.     

Time-Delay Integration Imaging with ICON’s Far-Ultraviolet Imager

A Time-Delay Integration (TDI) image acquisition and processing system has been developed to capture ICON’s Far Ultraviolet (FUV) Spectrographic Imager data. The TDI system is designed to provide variable-range motion-compensated imaging of Earth’s nightside ionospheric limb and sub-limb scenes viewed from Low Earth Orbit in the 135.6 nm emission of oxygen with an integration time of 12 seconds. As a pre-requisite of the motion compensation the TDI system is also designed to provide corrections for optical distortions generated by the FUV Imager’s optical assembly. On the dayside the TDI system is used to process 135.6 nm and 157.0 nm wavelength altitude profiles simultaneously. We present the TDI system’s design methodology and implementation as an FPGA module with an emphasis on minimization of on-board data throughput and telemetry. We also present the methods and results of testing the TDI system in simulation and with Engineering Ground Support Equipment (EGSE) to validate its performance.

     

倍频激光分离膜的损伤特性研究

从激光分离膜的热损伤原理出发,建立了1064nm波长激光分离膜的损伤方程,并给出了损伤阈值的求解过程,在理论上分析了1064nm波长激光对SiO2薄膜材料的损伤特性;文中运用仿真方法得出激光照射过陧中薄膜内温度场随杂质位置不同的分布曲线。     

基于混合方法的膨胀腔非稳态流动及气动噪声分析

采用混合方法对气流作用下的膨胀腔的非稳态流动和气动噪声进了数值仿真分析。建立基于有限体积法的流体仿真模型,采用大涡模拟方法对膨胀腔内部非稳态流动进行计算。数值仿真结果捕捉到了腔体内部非稳态流动以及涡量的发展变化过程,并与实验观测结果基本吻合。采用积分插值的方法将流场结果插入声学网格上,基于气动声学理论计算腔体内部的流噪声源。建立声学仿真模型,将流噪声源导入声场网格中计算远场响应点的声压,并与实验结果进行对比,声压级以及共振频率都吻合良好。结果表明:混合仿真方法准确直观揭示出管内流噪声产生的机理和过程,尾管辐射噪声的仿真结果与实验结果及理论计算结果的偏差都在5%以内。      

某型增压航空活塞发动机仿真研究

介绍了某型航空活塞发动机仿真模型的建立方法,建立了带有一级增压器的某型航空活塞发动机仿真模型,并进行了该发动机的地面特性的仿真计算,计算结果与试验结果符合得很好.在此基础上进行了该发动机高空特性的仿真计算,仿真结果与飞行试验数据较好地吻合,能够满足工程使用要求.      

新型压电激励器作用力模拟技术研究

研究轻型结构、直升机旋翼结构和复合材料结构等的颤振飞行试验激励问题具有重要意义。提出以弯矩模拟压电粗纤维复合材料(MFC)激励器的作用力,从而解决MFC仿真建模问题。首先借助机翼有限元模型,建立带有压电激励器的机翼结构动力学仿真模型;然后以压电激励器地面激励试验结果为基础,通过修正仿真模型中压电作用弯矩的大小,实现仿真试验结果与地面试验结果的拟合,最终得出非线性压电激励器作用力;最后通过另一组地面试验数据验证了该作用力的大小,并将该作用力模拟技术应用于不同试验中。本文的研究结果可为后续以该激励器作为激励作动器或控制作动器的试验提供有益参考。