基于超光滑表面工艺过程的PSD评价技术研究

基于功率谱密度简化公式,通过数据拟合提取出PSD曲线的两个重要评价参数.研究PSD曲线变化与超光滑表面加工工艺相关性,提出基于超光滑表面工艺过程的PSD评价技术,以指导工艺改进和新工艺的开发.     

超光滑表面清洗技术发展研究

介绍了超光滑表面清洗的基本理论,指出了当前超光滑表面清洗中存在的问题,系统分析了现有清洗技术的原理和清洗效果,并指出清洗技术的发展趋势。