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1.
功率谱密度(PSD)在评价超精密光学表面中的应用研究
刘耀红
滕霖
李大琪
张萧
《航空精密制造技术》
2006,42(2):1-3
用原子力显微镜对不同工艺下获得的超光滑反射镜基片进行了功率谱密度(PSD)检测,并对结果进行分析,以指导光学元件加工。
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