| 功率谱密度(PSD)在评价超精密光学表面中的应用研究 |
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| 引用本文： | 刘耀红,滕霖,李大琪,张萧.功率谱密度(PSD)在评价超精密光学表面中的应用研究[J].航空精密制造技术,2006,42(2):1-3. |
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| 作者姓名： | 刘耀红 滕霖 李大琪 张萧 |
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| 作者单位： | 飞行自动控制研究所,西安,710065 |
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| 摘 要： | 用原子力显微镜对不同工艺下获得的超光滑反射镜基片进行了功率谱密度(PSD)检测,并对结果进行分析,以指导光学元件加工。
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| 关 键 词： | 功率谱密度 超精密光学元件 原子力显微镜 反射镜基片 |
| 文章编号： | 1003-5451(2006)02-0001-03 |
| 修稿时间： | 2005年10月12 |
Application of Power Spectral Density to Specify Optical Super-precision Surface |
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| LIU Yao-hong TENG Lin LI Da-qi,.Application of Power Spectral Density to Specify Optical Super-precision Surface[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2006,42(2):1-3. |
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| Authors: | LIU Yao-hong TENG Lin LI Da-qi |
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| Abstract: | using an atomic force microscope,the super-smooth mirror substrate was measured,the result of the measurement to instruct the fabrication of optical components was analyzed. |
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| Keywords: | power spectral density optical super-precision surface atomic force microscope mirror substrate |
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