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| 超高反射率的激光反射镜制造中的波度 | |
| 引用本文： | 滕霖,任敬心.超高反射率的激光反射镜制造中的波度[J].航空精密制造技术,1992(6). |
| 作者姓名： | 滕霖 任敬心 |
| 作者单位： | 西北工业大学制造工程系，西北工业大学制造工程系 |
| 摘 要： | 分析了超光滑反射镜基片的表面波度对反射率的影响。利用Form Talysurf轮廓仪和高分辨率激光轮廓仪对经古典抛光法加工的基片进行检测,其表面波度的波幅为5～30nm,波距为100～150μm。还分析了古典抛光法表面波度的形成规律,并给出了实测结果。 |
| 关 键 词： | 反射镜基片 表面波度 波度形成 |
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