排序方式: 共有23条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1.
3.
M.Torres集团公司自80年代后期以来就开始向航空工业提供设备和系统.最早的项目是带有柔性夹具(TORRESTOOL)的五轴龙门式激光刻型系统(TORRESLASER).首台系统已于1988年投入运行. 相似文献
4.
5.
总结了毫米波混合集成电路的工艺技术。讨论了影响电路性能的关键工艺因素,优化了工艺条件,确定了最佳的工艺参数,从而研制成功了多种毫米波混合集成电路组件,为整机系统国产化及小批量生产创造了条件。 相似文献
6.
论述了为研制液体火箭发动机关键件——层板式喷注器而采用的光刻工艺技术。该项工艺技术交叉采用微电子领域的光刻技术与精密机械加工技术 ,达到了超精加工的目的 相似文献
7.
光刻技术在流体动力密封研究中的应用 总被引:2,自引:2,他引:2
主要介绍了流体动力密封螺旋槽动环光刻工艺的特点、原理、工艺过程、工艺流程、槽深控制方法以及应用情况,提出了采用高能束流刻蚀螺旋槽动环的新途径.结果表明,采用标准MEMS光刻工艺技术和化学铣切工艺技术,可加工出满足设计要求的螺旋槽动环. 相似文献
8.
9.
10.
本文论述了为研制液体火箭发动机关键件—层板喷注器而采用的光刻工艺技术。本工艺技术是一种交叉性的边缘学科,是微电子领域的光刻技术与精密微机械加工技术相结合的典范,属超精加工。 相似文献