| 涡轮导叶片表面MEMS高温测量技术 |
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| 引用本文： | 段力,姬中林,翁昊天,李继保,林宇震,曹学强.涡轮导叶片表面MEMS高温测量技术[J].航空制造技术,2020,63(5):62-67. |
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| 作者姓名： | 段力 姬中林 翁昊天 李继保 林宇震 曹学强 |
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| 作者单位： | 上海交通大学电子信息与电力工程学院,上海200241,上海交通大学电子信息与电力工程学院,上海200241,上海交通大学电子信息与电力工程学院,上海200241,中国航发商用航空发动机有限责任公司,上海 200240,北京航空航天学院能源动力与工程学院,北京100191,武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉430070 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 高温温度测量 航空发动机 薄膜传感器 原位集成 曲面光刻 MEMS微制造集成技术 |
MEMS Sensors for High Temperature Measurement on Nozzle Guide Vane Surface |
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| DUAN Li,JI Zhonglin,WENG Haotian,LI Jibao,LIN Yuzhen,CAO Xueqiang.MEMS Sensors for High Temperature Measurement on Nozzle Guide Vane Surface[J].Aeronautical Manufacturing Technology,2020,63(5):62-67. |
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| Authors: | DUAN Li JI Zhonglin WENG Haotian LI Jibao LIN Yuzhen CAO Xueqiang |
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