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| 层板喷注器光刻工艺技术研究 | |
| 引用本文： | 宁建华.层板喷注器光刻工艺技术研究[J].火箭推进,2001(2):19-22. |
| 作者姓名： | 宁建华 |
| 作者单位： | 中国航天科技集团公司第十一研究所 |
| 摘 要： | 本文论述了为研制液体火箭发动机关键件—层板喷注器而采用的光刻工艺技术。本工艺技术是一种交叉性的边缘学科,是微电子领域的光刻技术与精密微机械加工技术相结合的典范,属超精加工。 |
| 关 键 词： | 液体火箭发动机 层板喷注器 光刻 |
Study on Photolithographic Process of the Platelet Injector |
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| Ning Jianhua.Study on Photolithographic Process of the Platelet Injector[J].Journal of Rocket Propulsion,2001(2):19-22. | |
| Authors: | Ning Jianhua |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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