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| 层板式喷注器光刻工艺 | |
| 引用本文： | 宁建华.层板式喷注器光刻工艺[J].航天制造技术,2000(1):18-20. |
| 作者姓名： | 宁建华 |
| 作者单位： | 陕西动力机械设计研究所 |
| 摘 要： | 论述了为研制液体火箭发动机关键件——层板式喷注器而采用的光刻工艺技术。该项工艺技术交叉采用微电子领域的光刻技术与精密机械加工技术 ,达到了超精加工的目的 |
| 关 键 词： | 液体火箭发动机 层板式喷注器 光刻工艺技术 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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