层板喷注器光刻工艺技术研究

本文论述了为研制液体火箭发动机关键件—层板喷注器而采用的光刻工艺技术。本工艺技术是一种交叉性的边缘学科,是微电子领域的光刻技术与精密微机械加工技术相结合的典范,属超精加工。     

光刻技术在整体式层板催化剂床研究中的应用

采用自主设计研制的高精度双面自对准光刻模具和标准MEMS光刻工艺技术研制出整体式层板催化剂床板片,简要介绍了光刻工艺原理、工艺流程和工艺过程。光刻加工出的板片满足设计要求,板片经过电镀和真空扩散焊接工艺形成了整体式催化剂床,该床成功地通过了热点火试车。催化剂床床载为16.5g/(cm2·s),分解效率为97%,室压粗糙度小于2%。     

光刻技术在流体动力密封研究中的应用

主要介绍了流体动力密封螺旋槽动环光刻工艺的特点、原理、工艺过程、工艺流程、槽深控制方法以及应用情况，提出了采用高能束流刻蚀螺旋槽动环的新途径．结果表明，采用标准MEMS光刻工艺技术和化学铣切工艺技术，可加工出满足设计要求的螺旋槽动环．     

光刻技术在金属板片刻蚀上的应用

介绍了应用双面自对准光刻技术刻蚀金属板片的工艺原理、方法、工艺参数的选取原则以及双面自对准光刻模具设计准则,该项技术已成功应用于液体火箭发动机层板喷注器和膜片阀的研制和生产之中。     

光刻膜片在膜片阀中的应用

介绍了膜片光刻的工艺原理、工艺过程及其特点，论述了利用双面自对准光刻模具与膜片母材厚度之间的关系控制膜片槽深的机理，介绍了光刻膜片在膜片阀中的应用情况，经爆破试验和发动机热试车表明：膜片阀设计合理，膜片光刻工艺可行。     

探测空间原子氧环境的锇膜电阻传感器技术研究

原子氧密度传感器可以测量原子氧的通量密度和积分通量.锇膜电阻是一种小型的、价格低廉的测量轨道原子氧束流密度的传感器,由于尺寸小、重量轻使其可以用在大部分航天器上,增加了飞行的机会.文章对北京卫星环境研究所采用电镀法及紫外线光刻和金属刻蚀微加工技术制备锇膜电阻的研究情况进行了介绍.     

一种新型的CMOS实时微控器

随着微电子技术的飞速发展,伺服控制技术进入了由软件调节的新阶段。这种工艺技术的采用使微机的监控作用能够控制来自传感器的数字和模拟信号,同时具有高速度、容量大的优点。法国的NEC公司研制了具有上述特点的一     

液体火箭发动机制造技术发展现状

以欧洲阿里安系列火箭为例,介绍了发动机的制造技术发展情况,详细论述了推力室及涡轮泵的几大部件所采取的工艺技术,通过对液体火箭发动机制造技术现状的分析,说明了制造技术的发展不仅为发动机采用新结构、新材料创造了条件,而且还促进了发动机性能的提高。     

简迅

简迅根据航天工业总公司＂九五＂期间工艺发展规划要求，拟在现有工艺网点的基础上，重点建立总公司工艺研究所及８个专业工艺技术中心。专业工艺技术中心包括：超精密加工工艺技术中心；特种焊接工艺技术中心；表面改性及涂覆工艺技术中心；无损检测技术中心；热加工精密...     

通信卫星若干制造技术

前 言1984年4月8日我国试验通信卫星的发射成功,标志着我国航天技术有了新的飞跃。就其技术水平而言,正如国防部长张爱萍所指出的:“我国的运载火箭技术水平不亚于其他先进国家,卫星通信技术也接近世界水平”。无论运载火箭还是通信卫星,其性能指标的先进性,都要以制造工艺技术作为其基础来实现的。通信卫星制造工艺技术的特点是:由于重量要求尽量轻,以增加有效载荷,而采用了大量薄壁结构件以及比刚度、比强度高的材料,这就对制造工艺提出了防止变形的尺寸稳定化的技术要求,以及钛合金、非金属材料的制造技术问题;由于同步定点的高精度要求,…     

ZL104局部阳极氧化工艺研究

研究了铝合金材料阳极氧化理论以及ZL104铝合金材料局部硫酸阳极氧化处理后膜层粘脱现象产生的原因与机理,指出了该现象产生的原因是氧化膜在贮存、水试等环节受到污染而使氧化膜的封孔结构被破坏.根据理论分析和模拟试验结果,提出了局部阳极氧化前增加水封闭处理对氧化膜进行修复的工艺技术.该项技术可有效杜绝氧化膜层粘脱现象.采用该项工艺技术制造的液体火箭发动机已经用于常规运载火箭系统,该运载火箭已经完成飞行任务考核.     

推力室头部钛合金钎焊工艺

研究了7715D钛合金推力室头部的钎焊工艺技术,解决了头部钎焊的结构形式、钎焊真空度、钎焊焊缝微裂纹等技术问题,总结了推力室头部钎焊工艺,经多次工艺试验和多批次产品生产表明,所采用的钎焊工艺焊缝成形良好,性能优良,质量可靠。     

用光刻法加工金属精密零件

引 言 光刻是一种精密的表面加工技术,是由照相和化学腐蚀相结合,在集成电路和半导体器件表面修刻的关键工艺。它最初出现在印刷照相制版上,由照相和化学腐蚀技术制取印刷用凸版,在1942年Fanl Zisla(英)发明了印刷布线技术,逐渐作为微细图形表面加工的方法推广到印刷电路中去。     

电子束曝光机工作台及精密轴承——用电子束扫描提高LSI图形精度

利用电子束扫描制造LSI光刻掩膜版,已取代从前的照像制版。在技术先进国家已进入实用化阶段。而电子束光栅扫描曝光机连续移动工作台的结构及精密轴承的精度和性能,决定于减少电子束的偏转角和工作台上下往返移动寸产生的位置误差。制造材料必须用热膨涨系数小,非磁性防止磁场变化。装配和加工技术要求精密微细化。电子束曝光机整体结构要真空密封,防止外界环境干扰。传动部分采用静压空气轴承、滚珠丝杠,滚柱轴承支持V型导轨等先进技术。     

毫米波缝隙天线阵面光刻工艺

毫米波主动导引头缝隙天线阵面，具有面积大、缝隙数量多、精度高的特点，制造这样的缝隙天线阵面，在国内尚属首次。本文着重对缝隙天线阵面的光刻工艺进行了分析，对光刻工艺方法研制缝隙天线阵面的技术途径、工艺实验的结果和存在的主要问题进行了论述。     

为开创工艺工作的新局面而努力奋斗——岁首祝辞

在新的一年开始及“航天工艺”创刊两周年之际, 我借此机会向航天工业全体工艺技术工作者及“航天工艺”编辑人员致以衷心的祝贺。 在过去一年里,由于你们的辛勤工作使航天工业工艺技术有了很大的进展。工艺研究、技术攻关、交流推广等方面有了新的突破,有力     

关于《航天工艺》更名的说明与思考

1 关于更名的说明 《航天工艺》今天以《航天制造技术》的新刊名同广大读者见面了！ 《航天工艺》创刊于1983年，是航天系统唯一由企业(工厂)主办并具有国家科学技术部和新闻出版署颁发刊号的技术性刊物。十几年来《航天工艺》认真贯彻国家有关方针政策，严格按办刊宗旨要求，坚持社会效益第一、坚持有利于促进航天工艺技术进步、有利于促进型号研制生产、坚持面向生产一线，为确保型号发射成功发挥了积极作用。成为展示、宣传我国航天工艺技术成就的重要窗口，广大工艺技术人员交流技术的园地。 《航天工艺》创刊18年来已出…     

固体发动机捆绑式加压成型装药工艺研究

对固体发动机1次6发捆绑式真空浇注加压成型的装药工艺技术进行了研究。采用药浆流过封闭连续流场,以增加压差,推动药浆流动,克服流场阻力等技术,设计出分离气路、药浆物料流路的新型浇注系统,用于122 mm发动机装药批量生产。经发动机药柱整形、药面表观检查和地面热试车抽试考核表明,采用该装药工艺成型的发动机性能质量良好。     

装饰性真空镀膜工艺研究

装饰性真空镀膜工艺技术在生产应用上还存在着一系列的质量问题。针对这些技术问题,对镀膜工艺各个环节进行了研究试验,获得了“SP”塑料前处理液、“KTE”系列结合剂、“240”系列真空镀膜涂料、“BAA”染色液等几项研究成果并制订了工艺规程,明确工艺技术要求,并根据实践经验作膜层缺陷分类和缺陷原因分析,提出返修工艺方法。     

小型固体火箭发动机药柱连续浇注工艺技术研究

对Φ50～Φ300mm小型固体发动机药柱连续浇注工艺技术进行了研究。采用无缸浇注技术,突破了密封、下料速度控制、料位控制、自动对中定位等关键技术,设计出旋转式连续浇注装置和自控操作系统,用于BSFΦ127mm发动机装药连续浇注成型。发动机药柱解剖和发动机地面热试车结果表明,连续浇注发动机药柱符合质量要求。