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ZHANG Yi-chen SUN Shao-ni ZHOU Yi MA Sheng-ge BA De-chun 《中国航空学报》2006,19(B12):119-125
Diamond-like carbon (DLC) films are deposited by the Hall ion source assisted by the mid-frequency unbalanced magnetron sputtering technique. The effects of the substrate voltage bias, the substrate temperature, the Hall discharging current and the argon/nitrogen ratio on the DLC film's performance were studied. The experimental results show that the film's surface roughness, the hardness and the Young's modulus increase firstly and then decrease with the bias voltage incrementally increases. Also when the substrate temperature rises, the surface roughness of the film varies slightly, but its hardness and Young's modulus firstly increase followed by a sharp decrease when the temperature surpassing 120 ℃. With the Hall discharging current incrementally rising, the hardness and Young's modulus of the film decrease and the surface roughness of the film on 316L stainless steel firstly decreased and then remains constant. 相似文献
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以列表形式给出历代印刷电路板(PCB)的发展概况,介绍现代PCB的技术特征,认为CAD布线与激光光绘仪制版技术、金属化技术、孔化技术、材料技术和测试技术是发展PCB的关键技术,并对这些技术进行了分析。 相似文献
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目前针对国内薄膜瞬态热流传感器一致性较差、制备工艺不成熟等问题,提出了一种基于光刻工艺和离子束溅射镀膜工艺的制备方法,200对T型金属薄膜热电偶沉积在10mm×10mm的水冷块上,测量1μm的氧化铝热阻层温差,从而得到瞬态热流密度值。对新型高温瞬态热流密度传感器进行比对法标定,一致性误差为0.211%,即工艺的一致性约为99.79%。实验表明,研制的新型高温瞬态热流密度传感器的一致性好,制备工艺具备良好重复性和可移植性,能够满足高温瞬态热流检测需要,为热流传感器的推广应用及标准化、批量化生产提供了良好的技术支撑。 相似文献
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近年来,越来越多的观测结果均显示月球上存在水.本文通过运用Monte-Carlo方法及基于能量守恒的有心力场中粒子轨道算法对水分子在近月表的输运过程进行建模,得到了水分子在近月表分布随时间演化的图像.模拟结果显示,分布在高纬地区的水分子较同经度的中低纬地区要多,这与目前探测得到的结论是一致的.同时,对最终进入永久阴影区的水分子的百分比进行了统计,在光解离常数为6.4×104s的情况下,有大约4.12%的水分子会被永久阴影区存储下来,这个比例与前人估算结果相吻合. 相似文献
为了得到在低能条件下更为精确的Ar~+和Xe~+轰击SiO_2的溅射模型,对已有化合物溅射模型进行调研分析,总结了3种溅射模型,分别为Pencil模型、Bach模型和Seah模型,并对其不足之处加以分析。在Seah模型基础上,对溅射阈值采用新的计算方法,并利用等效原子法改进溅射参数和表面键能的计算方法,形成改进后的新模型。结合已有的关于Ar~+和Xe~+法向轰击SiO_2的实验数据,对4种模型的计算结果进行对比分析。对于Ar~+和Xe~+法向轰击SiO_2,改进后的溅射模型的均方根误差最小,拟合优度最高,均优于其他3种模型。说明在低能状态下,采用改进后的模型可以更为精确地计算Ar~+和Xe~+轰击SiO_2的溅射率。 相似文献
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本文介绍一种在70年代发展起来的簿膜式电阻温度传感器。它是采用高频溅射将铂簿膜粘附在基底表面,经光刻、焊接、调阻、上保护胶后进行温度特性标定,制成了尺寸小、精度高、反应快,可作表面温度测量、瞬态温度变化及热流测量的新型测试元件。 相似文献