硅微半球陀螺结构与制造方法及其接口电路设计

针对微半球陀螺加工对称性差的问题，提出了自对准球形电极的多晶硅半球谐振器架构，实现了电极与谐振器相同曲率的一体化成型工艺，从而确保了谐振器的对称性。为使谐振器具有较大的驱动和检测电容，电极和外壳之间的间隙由牺牲层制成，电容间隙均匀且达到了1.5μm。接口控制电路采用基于FPGA的数字化设计，发挥了数字系统信噪比高和开发灵活的优势，实现了开环扫频、锁相环、自动增益控制、交流正交抑制等核心功能。实验结果表明，该陀螺的品质因数达到了42554，谐振频率为5.130kHz和5.128kHz，零偏稳定性达到了3.4°/hr。     

减小半球锥柱型药柱残药率的研究

为了减小半球锥柱型药柱的残药量,分别采用UG NX和MATLAB软件进行了建模和编程计算,得到了药柱燃烧规律和残药率与设计参数的函数关系图,进行了算例分析。计算结果表明,环向槽圆弧半径的取值越大,残药率越小,且残药率减少幅度增加；残药率与内孔半径呈现负相关关系；残药率与环向槽圆弧圆心旋转半径呈现近似抛物线关系,旋转半径值变大时,残药率先增大后减小；残药率与圆柱段长度呈现近似线性关系。计算结果与实际数据的最大相对误差为0.084%。      

主轴失准条件下的半球谐振陀螺电刚度补偿方法

半球谐振陀螺是一种基于哥氏效应的固体波动陀螺，具有高精度、长寿命、高可靠性的优势。频差直接影响着陀螺仪表的测量精度。针对存在主轴失准角的情况，文章建立了包含主轴失准角在内的完整电刚度补偿动力学模型，并给出了不同失准角度下谐振子电刚度补偿方案以及仿真结果，仿真结果表明，利用多电极组合补偿的方法能够实现主轴失准条件下的残余频差的完全抑制，为谐振子频差的电刚度补偿方法提供了借鉴。     

半球谐振陀螺调平技术发展综述

半球谐振陀螺是一种新型的固态波动陀螺，具有精度高、体积小、寿命长、功耗低等优点。谐振子的品质因数高低和不平衡质量大小直接决定了半球谐振陀螺的性能，因此，不平衡质量的辨识和调平是提高谐振陀螺性能的关键。首先，介绍了六种不同的刚性轴方位和不平衡质量辨识方法和系统，分析对比了每种方法的优缺点；其次，对谐振子的调平理论进行了归纳，进而对机械调平、化学调平、激光调平和离子束调平的研究现状和特点进行了梳理和归纳；最后对半球谐振陀螺调平技术的发展作了简要评述。     

全角模式半球谐振陀螺振型控制与角度检测

传统半球谐振陀螺采用力平衡工作模式，这种模式仅能直接检测实时转速，且动态范围较小，限制了半球谐振陀螺在具有大动态机动特点的应用场景中的使用。相比之下，全角模式半球谐振陀螺通过滞后角与陀螺转动角度之间的比例关系进行角度检测，相比力平衡模式，具有直接角度检测的功能和更大的动态范围。对全角模式半球谐振陀螺进行了研究，介绍了全角模式半球谐振陀螺的控制与信号处理的方法，以及全角模式半球谐振陀螺系统的实现。该系统通过基于相干解调的信号处理算法，实现了谐振振幅参数的解算，通过PI控制器、正交分解及乘法调制实现了跟踪谐振振型进动控制作用，通过谐振振型进动角度解算器直接解算了陀螺的转动角度。通过数字仿真与实物实验结果可知，所介绍的全角模式半球谐振陀螺系统能够实现不依赖于积分运算的角度检测功能，且较之于力平衡模式，其半球谐振陀螺动态范围有了一定程度的提高。     

基于A3200控制器的超精密机床控制系统的设计与应用

以一种新型的运动控制器—A3200控制器为核心搭建了数控系统硬件平台,对控制器的控制函数及直接命令进行了研究,基于机床的需求开发了数控系统软件平台。同时,结合A3200控制器与伺服系统参数整定与优化方法,对伺服系统参数进行了整定和优化,提高了系统的精确性和稳定性。最后,对半球谐振子进行了加工试验,验证了数控系统的控制性能及加工精度。     

金属壳谐振陀螺误差补偿方法研究

针对金属壳谐振陀螺的误差建模与补偿方法进行研究.首先,通过分析金属壳谐振陀螺的敏感机理,找到影响陀螺性能的误差源,建立金属壳谐振陀螺的误差模型.然后,研究陀螺的误差传播特性,对误差源进行分类,提出金属壳谐振陀螺的误差补偿方法.最后,利用试验方法对建立的误差模型和补偿方法进行验证.试验结果表明:经过补偿后的金属壳谐振陀螺在工作温度范围内(-45℃ ～55℃)零偏不稳定性降低至4.67(°)/h,全温度段线性度由0.2％降低至0.03％,随机游走为0.6982(°)/h1/2,陀螺的综合性能得到显著提升,证明了误差模型和补偿方法的有效性.     

金属振动陀螺调平方案设计与比较

金属振动陀螺是一种低成本、 轻小型的新型固体波动陀螺,在战术级应用领域具有广大的应用前景.金属振动陀螺谐振子的频率分裂直接反映陀螺的性能指标,频率分裂可以通过机械调平的方式进行修正.对金属振动陀螺的调平方法进行了梳理和比较,提出了质量修正、刚度修正2种调平思路和增加、 去除材料等5种修正方法.通过对各种调平修正方法的比较,选择激光去重法对谐振子顶面进行质量调平修正,并进行实验验证.实验结果表明,该方法修正后,在保持品质因数基本不变的情况下,谐振子的频率分裂由5.3Hz降低到0.9Hz,陀螺的零偏稳定性由55(°)/h降低到6(°)/h,性能指标提高了1个数量级.     

一种改进PSO-ARMA半球谐振陀螺温度误差建模方法

为减小半球谐振陀螺(HRG)在温度效应下产生的漂移,建立了温度漂移补偿模型,对与温度有关的确定性漂移进行了补偿。提出了一种改进PSO-ARMA建模方法,对不确定性漂移进行了补偿。改进的PSO-ARMA建模方法将惯性权值递减策略引入到反向学习粒子群优化(PSO)算法中,提高算法跳出局部、快速收敛的能力,在建模时利用改进的PSO算法对ARMA参数寻优,以提高模型的精度。利用半球谐振陀螺升温实验数据进行了检验,经该模型补偿后,陀螺输出精度可达0.07°/h,且较传统ARMA建模方法精度提高了一倍。      

半球谐振陀螺敏感单元总剂量效应试验研究

半球谐振陀螺是卫星捷联惯性参考单元的核心部件,在空间应用领域会受 到空间辐射环境的影响。介绍了半球谐振陀螺敏感单元的总剂量效应模拟试验的研究, 在电离总剂量60Co 源γ 射线辐照试验前、中、后, 分析陀螺敏感单元的性能参数变化。 通过总剂量1000krad(Si)的摸底试验,陀螺敏感单元的电性能参数稳定,证实陀螺敏感单 元和缓冲电路板在该辐射剂量下性能正常。