微细电火花加工微驱动机构设计

分析了柔性铰链及压电陶瓷的原理和特点,指出了压电陶瓷-柔性铰链机构在微进给中具有高响应频率、高精度和无间隙等优点,满足微细电火花加工的要求。并将压电陶瓷与整体式柔性铰链相结合,设计出一种压电驱动蠕动式微进给机构。     

超精密平面磨床设计中的关键技术

介绍了超精密平面磨床设计中的主要关键技术．主轴及Ｘ．Ｙ．Ｚ轴导轨均采用了气体静压成液体静压轴承，采用误差补偿技术对Ｘ．Ｙ轴导轨误差进行补偿，三轴均由ＣＮＣ系统控制．设计了分辨率为０．０１μｍ的砂轮特殊微量进给装置，并应用了砂轮电解在线修整（ＥＬＩＤ）技术．     

新型超精密平面磨削微量进给装置的研制及其特性研究

介绍了一种用于超精密平面磨削的新型微量进给装置并对其静、动态特性及控制方法进行了研究。实验结果表明：该装置的位移分辨率为１０ｎｍ，重复精度可达００５μｍ。采用“速度前馈＋ＰＩＤ”控制方法后，系统动态特性得到显著提高。     

一种三自由度精密定位系统研究

为了满足航空制造领域中零部件精密装配系统对精密定位的需求,开发了一种基于柔顺机构的三自由度精密定位系统,具有两个移动及一个转动共3个自由度;采用3个封装压电陶瓷致动器驱动,封装压电陶瓷内置应变传感器以实现对压电陶瓷驱动器的闭环精确控制;使用3个激光位移传感器测量实际位姿。提出一种基于激光位移传感器的测量和运动学标定方法,试验结果表明X方向正弦轨迹误差为5.4%,Y方向正弦轨迹误差为8.18%。     

压电陶瓷用于纳米定位系统的研究

压电陶瓷PZT用于纳米定位系统的研究，给出了一种二维纳米定位机构和有效消除压电陶瓷压电误差的方法，设计了闭环数字控制系统．实验表明：该定位系统行程10μm,定位精度10nm，定位分辨率达2nm．     

超精密定位中的几项相关关键技术

通过结合自已的实际工作，分别从伺服进给机构，位置检测技术，数控及伺服控制等几个方面对超精密机床的定位系统进行了说明     

端齿啮合式微量进给机构

一、概述端齿啮合式微量进给机构是一种机械式微量进给机构,达种机构作为精密定位装置,具有精度高,结构简单,工作可靠,成本低等优点。既适合于机床精化改装,又可作为设计机床的一种新颖机构。应用在精密机械与仪器中     

精密导电滑环表面微槽车削性能

采用超精密车削精密导电滑环导电环的方法,保证了精密导电滑环绝缘环与导电环的同轴度、环间距,使绝缘微槽变形量低于0.10 mm。建立了精密导电滑环的切槽模型,利用仿真分析讨论了主轴转速、进给速率、刀具前角和切削深度对微槽变形量的影响,并对模型进行了试验验证。结果表明:滑环微槽侧面变形量随主轴转速的增大而变大,当转速达到700 r/min时,变形量达到了0.10 mm,超出了滑环的精度要求;滑环微槽变形量随机床进给速率的增大而变大,当进给速率达到1.5 mm/min时,变形量超出了滑环的精度要求;滑环微槽变形量随着前角的增大而减小;滑环微槽变形量随切削深度的增大而变大,切削深度低于0.2 mm时,滑环变形量微乎其微。     

二维精密微动刀架的研制

研制了一台由压电陶瓷驱动、Y向微调对刀装置及夹紧汽缸组成的X-Z二维精密微动刀架,并建立了微动刀架的数学模型。经实验测试刀架分辨率达到5nm,重复定位精度达到±0.01μm,满足超精密加工的要求。     

LVDT刀具在线检测仪在超精密车削加工中的应用

介绍了一种LVDT刀具在线检测仪,用于超精密车削中刀具的精密对刀及刀尖圆弧半径测量。重点介绍了该装置的工作原理、组成部分及在超精密车削中的具体应用。     

超精密加工技术的发展

以单点金刚石车削和超精密金刚石磨削为基础的超精密加工能够经济地制造光学、机械和电子部件,或生产在微米和毫微米范围内的成形精度和表面粗糙度的产品。辅助成形精度和表面粗糙度测量技术在评估超精密加工表面质量中也起着重要作用。在香港建立了超精密加工中心,用各种设备和技术服务帮助当地企业对高质量超精密产品进行快速研制和试验超精密加工技术的发展     

精密偶件的精密加工技术

本文系统地论述了精密偶件的研磨、滚压、珩磨、超硬材料铰削、超精密车削、磨削及超精密平面滚研等精密加工工艺。     

微机械用材料及其特性

综述了硅材料、形状记忆合金、压电陶瓷、超磁致伸缩材料的微机械用材及其特性，并提出了微材料学概念，同时还介绍了微机械应用．     

基于神经网络的超精密车床圆柱度误差补偿技术研究

根据所研制的超精密亚微米车床的具体特点，提出了一种基于神经网络的工件圆柱度误差补偿方法，并据此建立了误差补偿控制系统，实验结果证明所提方法简单易行，在超精密车削中应用前景广阔。     

宏微复合进给机构及其在微细电火花加工中的应用

分析比较了几种现有进给机构的特性,说明了宏微复合进给机构的组成和工作原理,讨论了压电陶 瓷致动器的致动机理和制作时的注意事项。     

陶瓷刀具车削GH4169表面粗糙度研究

采用单因素试验法,使用陶瓷刀片进行GH4169高温合金的车削试验,分析了各切削参数对表面粗糙度的影响规律,结果表明:进给量是影响高温合金车削加工中表面粗糙度的最主要因素,其次是切削速度,切削深度的影响最小;切削速度在190～230m/min范围内,进给量在0.1～0.2mm/r范围内,可以保障表面粗糙度在1.2μtm以内;进给运动轨迹构成了试件已加工表面形貌轮廓的主要特征     

功能陶瓷超精密加工技术

介绍了国内外功能陶瓷超精密加工技术的研究现状及加工方法 ,阐述了超精密抛光技术的原理及影响加工质量的因素 ,指出了功能陶瓷超精密抛光技术的发展趋势。     

惯性仪表制造中的精密和超精密加工

本文就惯性仪表制造中对精密和超精密加工的要求,阐述了目前国内外已经应用的几种加工方法,如超精密车削、镗削、磨削等,以及精密数控计算机技术、各种特种加工方法在精密和超精密加工领域中的应用。     

微结构表面超精密加工中切削条件的影响分析

介绍了微结构功能表面加工中的问题,以同轴调制锯齿波微结构的金刚石超精密加工为例阐述了其加工原理,结合试验对刀具刀尖圆弧半径、被加工材料和切削液等切削条件与金刚石超精密切削加工后的微结构功能表面之间的关系进行了分析与讨论,并对主轴转速和刀具进给速度等切削用量与金刚石超精密切削出的微结构功能表面之间的关系进行了分析与讨论.     

压电陶瓷微位移系统的变参数PID闭环控制方法

针对压电陶瓷器件在精密定位控制中存在的迟滞、蠕变和位移非线性等不足,本文采用压电陶瓷直接粘贴应变片组成测量电桥作为位置反馈环节,设计了带上下限位的变参数PID闭环控制微位移系统,达到了预期的控制精度和效果.