柔性八杆对称联动定位机构及系统的研究

以柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为驱动器，提出了一种新颖的纳米级柔性八杆对称联动定位机构，给出了其刚度公式和动力学模型，结合激光干涉仪微位移检测装置，设计并研制了微机控制的数字闭环控制纳米定位系统。实验表明：该纳米定位系统行程 10μ m，定位精度优于± 0.03μ m，定位分辨率 3nm，最大定位时间 40ms。     

一种三自由度精密定位系统研究

为了满足航空制造领域中零部件精密装配系统对精密定位的需求,开发了一种基于柔顺机构的三自由度精密定位系统,具有两个移动及一个转动共3个自由度;采用3个封装压电陶瓷致动器驱动,封装压电陶瓷内置应变传感器以实现对压电陶瓷驱动器的闭环精确控制;使用3个激光位移传感器测量实际位姿。提出一种基于激光位移传感器的测量和运动学标定方法,试验结果表明X方向正弦轨迹误差为5.4%,Y方向正弦轨迹误差为8.18%。     

超精密车削微量进给机构的试验研究

通过试验对超精密车削压电陶瓷微量进给机构进行了研究。文中分析了压电陶瓷的微位移特性，给出了整个机构的设计方法和性能．试验结果表明，该微量进给机构的分辨率达到０．０２５μｍ，频响范围０～２００Ｈｚ，能够满足超精密车削的需要．     

可调姿态一维运动平台

使用“大范围纳米测量机”进行扫描测量时,要求被测样品的空间姿态相对测量坐标系稳定,因此需要样品姿态小范围内动态可调。本文提供一种姿态可调的一维运动平台解决方案:利用四个压电陶瓷电机驱动空间上均布的四个丝杠,通过柔性连接器共同推动运动平台。压电陶瓷电机的协调运动可以实现运动平台的大范围升降运动及小范围姿态调整,其自保持能力可以减小驱动部件发热对纳米级测量的影响;四点过定位支撑利于简化控制模型,还可提高工作台的稳定性。     

纳米级显微硬度试验研究

阐述了一种纳米尺度下测试材料显微硬度的试验方法——深度硬度试验法。并研制了深度硬度试验装置，采用压电陶瓷传感器实现微位移和激光测试超低载荷，该试验装置分辨率高，可以实现纳米级压痕的显微硬度测试。     

压电陶瓷微位移系统的变参数PID闭环控制方法

针对压电陶瓷器件在精密定位控制中存在的迟滞、蠕变和位移非线性等不足,本文采用压电陶瓷直接粘贴应变片组成测量电桥作为位置反馈环节,设计了带上下限位的变参数PID闭环控制微位移系统,达到了预期的控制精度和效果.     

应变反馈式压电陶瓷微位移驱动器的研制

介绍了采用应变片测量压电陶瓷微位移驱动器位移的原理和设计思想，介绍了实验装置的结构，给出了实验结果，证明将应变片直接粘贴在压电陶瓷基体表面测量其位移的方法是可行性的；通过对压电陶瓷滞回特性的测定，提出了建立压电陶瓷的控制模型的基本思路。     

微机械用材料及其特性

综述了硅材料、形状记忆合金、压电陶瓷、超磁致伸缩材料的微机械用材及其特性，并提出了微材料学概念，同时还介绍了微机械应用．     

微细电火花加工微驱动机构设计

分析了柔性铰链及压电陶瓷的原理和特点,指出了压电陶瓷-柔性铰链机构在微进给中具有高响应频率、高精度和无间隙等优点,满足微细电火花加工的要求。并将压电陶瓷与整体式柔性铰链相结合,设计出一种压电驱动蠕动式微进给机构。     

高精度压电陶瓷驱动电源的研制

为进一步提高压电陶瓷微位移系统的定位精度,设计了一种以PA93高压运放器为核心的高精度、稳定性好的大功率压电陶瓷驱动电源.重点阐述了系统设计方案,并对其中的关键技术和特性功能进行了分析讨论.实验结果表明,该驱动电源具有精度高、输出电流大、响应速度快、稳定性好的特点.当压电陶瓷等效容性负载为3μF时,能在1KHz内实现0V～ 10V到0V～100V的动态放大,电压输出精度可达0.1mV.     

智能复合材料的发展现状及应用前景

介绍几种智能复合材料，如压电陶瓷、形状记忆合金、光纤、电流变体等在国内外研究发展中的现状、特点、存在问题及应用前景．     

二次定位误差优化工艺方法在多层印制板制造中的应用研究

介绍了国外定位系统在多层印制板加工中的地位和作用，阐述了二次定位误差优化工艺方法的原理与实际应用效果．     

基于有限元分析的纳米级微进给工作台的设计

采用平行板移动副设计了压电陶瓷驱动纳米级微进给工作台。用有限元方法系统的分析了铰链的各个几何参数对工作台的静、动态特性的影响。举例给出了如何来利用有限元方法选择铰链尺寸,使工作台各性能参数均满足设计要求。     

二维精密微动刀架的研制

研制了一台由压电陶瓷驱动、Y向微调对刀装置及夹紧汽缸组成的X-Z二维精密微动刀架,并建立了微动刀架的数学模型。经实验测试刀架分辨率达到5nm,重复定位精度达到±0.01μm,满足超精密加工的要求。     

Characterization and Microstructure of PLZT RAINBOW Ceramics

RAINBOW陶瓷是一种具有内部应力偏移，并具有特殊的拱形结构的大位移驱动材料，它是通过将普通的压电陶瓷在高温下化学还原制备所得。实验表明，PLZT压电陶瓷具有较好的还原性能，还原层厚度与时间有线性关系，理想的还原条件为：950℃保温1～1．5h；电镜照片显示RAINBOW陶瓷有明显的分层结构，还原层表现出穿晶断裂而未还原层则是沿晶断裂的特征。XRD谱发现还原层主要由金属Pb及PbO，ZrO2，ZrTiO4等氧化物组成，原先的晶体结构已不存在；还原机制的理论分析与实验结果一致。     

压电陶瓷厚度对硬度计力加载控制稳定度的影响*

研究分析了压电陶瓷力发生装置的陶瓷片厚度对布氏硬度计力加载控制稳定度的影响。在硬度计力值加载领域,其结论对压电陶瓷力发生装置的设计和使用具有很强的实际意义和参考价值。     

纳米陶瓷复合材料研究进展

介绍了纳米陶瓷复合材料的研究进展，包括纳米陶瓷复合材料的制备工艺、材料性能、纳米补强增韧机理以及纳米与传统补强增韧方法并用技术。     

压电陶瓷驱动器的迭代学习逆补偿混合控制

由于压电驱动器具有迟滞、蠕变等非线性特征,在精密定位中存在较大的位移跟踪误差。本文对此提出了一种逆补偿和迭代学习控制算法相结合的控制方法。利用逆补偿器作为前馈,使压电陶瓷驱动器的位移跟踪误差得到一定的补偿,再利用迭代学习控制方法进行反馈,进一步减小压电驱动器的位移跟踪误差。仿真实验结果表明,该方法具有良好的控制效果,能够将驱动器的输出位移误差由37.26%减小到0.51%以内。     

压电智能板结构的有限元建模及静态形状控制

采用一种新的具有电自由度的薄板弯曲单元，建立了用压电陶瓷作驱动器和传感器的受弯板结构的有限元静态模型。并给出了几种简单模型，研究压电元件的驱动效应及对板结构的形状控制。     

激光陀螺应用中压电陶瓷灵敏度与歪扭的检测

压电陶瓷灵敏度的大小会直接影响激光陀螺的稳频。为了有效地稳频，提高陀螺性能，必须对压电陶瓷进行筛选。本文给出测量灵敏度及歪扭的大小、方向的原理方法。系统的中灵敏度的测量部分为一四通道Twyman-Green干涉仪。动态歪扭测量部分是利用歪扭造成激光光斑在四象限光电管上偏离，由各象限差动电压来得到其大小和方向。方法理论上能测出高达百分之一波长量级的压电陶瓷厚度变化和千分之一角秒量级的动态歪扭变化。