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纳米级显微硬度试验研究
引用本文:高栋,姚英学,袁哲俊.纳米级显微硬度试验研究[J].航空精密制造技术,2001,37(1):7-10.
作者姓名:高栋  姚英学  袁哲俊
作者单位:哈尔滨工业大学机电学院,
摘    要:阐述了一种纳米尺度下测试材料显微硬度的试验方法——深度硬度试验法。并研制了深度硬度试验装置,采用压电陶瓷传感器实现微位移和激光测试超低载荷,该试验装置分辨率高,可以实现纳米级压痕的显微硬度测试。

关 键 词:纳米压痕  硬度试验  压电陶瓷传感器
文章编号:1003-5451(2001)01-0007-04
修稿时间:2000年9月25日

Study on Micro-hardness Testing of Material in Nanometer Scale Study on Micro-hardness Testing of Material in Nanometer Scale
Gao Dong,Yao Yingxue,Yuan Zhejun.Study on Micro-hardness Testing of Material in Nanometer Scale Study on Micro-hardness Testing of Material in Nanometer Scale[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2001,37(1):7-10.
Authors:Gao Dong  Yao Yingxue  Yuan Zhejun
Abstract:This paper presents a micro-hardness testing method, namely depth-hardness testing with nanometer scale. As a study result, the authors develop a new micro-hardness testing device, which employs piezoelectric actuators to perform the micro feeding and laser meter to test the ultra-low load, featuring high resolution and micro hardness testing with indentation of nanometer scale.
Keywords:
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