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| 压电陶瓷用于纳米定位系统的研究 | |
| 引用本文： | 王建林,胡小唐,杨勇,张国君.压电陶瓷用于纳米定位系统的研究[J].航空精密制造技术,1997(2). |
| 作者姓名： | 王建林 胡小唐 杨勇 张国君 |
| 作者单位： | 天津大学精密仪器与光电子工程学院 |
| 基金项目： | 国家科委基础研究基金，国家教委“跨世纪优秀人才计划”基金 |
| 摘 要： | 压电陶瓷PZT用于纳米定位系统的研究，给出了一种二维纳米定位机构和有效消除压电陶瓷压电误差的方法，设计了闭环数字控制系统．实验表明：该定位系统行程10μm,定位精度10nm，定位分辨率达2nm． |
| 关 键 词： | 压电陶瓷 柔性铰链 纳米定位 闭环数字控制系统 |
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