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压电陶瓷用于纳米定位系统的研究 总被引:9,自引:0,他引:9
压电陶瓷PZT用于纳米定位系统的研究,给出了一种二维纳米定位机构和有效消除压电陶瓷压电误差的方法,设计了闭环数字控制系统.实验表明:该定位系统行程10μm,定位精度10nm,定位分辨率达2nm. 相似文献
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线热源法测导热系数的智能化测试系统 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一种采用线热源法测量材料导热系数的智能化系统。论述了系统测试原理和软硬件结构,该系统具有测量精度高、自动化程度高和操作方便等特点。测试结果表明,本文设计的硬件电路可靠性高、软件算法合理、具有一定的普遍性,可应用到其它智能化仪器仪表的设计中。 相似文献
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