几何量纳米计量方法及仪器

几何量计量已经走进纳米空间,本文在讨论纳米计量的必要性、可能性和特殊性的基础上介绍并总结了几何量纳米计量的基本方法和仪器。     

一种用计量光栅实现 2nm测量分辨率的新方法

提出一种利用正切函数在零点附近的小范围内线性度非常好的特点,对计量光栅技术中计算机正切细分法进行扩展,在信号处理电路中设计出一个量程比较小的精测档,以获得更高的纳米级的测量分辨率的新方法,并进行了详细充分的实验验证.     

一种新型用于陀螺定向的小角度测量系统的研究

介绍了一种基于光学自准直原理新型小角度测量系统,该系统是为陀螺定向机构中角度随动系统而设计的.利用光学非接触方法进行测量,通过其测量出随动系统同陀螺主轴的夹角,由伺服机构进行角度跟踪.实验表明,该系统在±1'的测量范围内具有0.5"的测量精度.     

一种新型激光干涉测头应用于量块比较法检定理论的研究

介绍一种新型激光干涉测头LM20应用于量块比较法检定理论的研究。LM20的大量程。高分辨力、全程测力恒定及高精度温度测量等特点,为一种"一对多"的新型量块比较检定法的实现提供了可能,从而大幅度减少标准块个数以降低检定成本。本文通过对LM20一系列实验数据的分析、计算,阐述了这种新方法的可行性。     

在线加工用高精度二维微小角度传感器的设计

提出了一种基于内反射效应的二维微小角度传感器的设计方法。该传感器采用光学差动法,通过检测光强实现了对二维方向上微小角度的测量。研制的角度传感器俯仰角和偏转角的测量范围为±500arcsec;具有优于0.1arcsec的分辨力。     

大气状态下SPM纳米加工系统的开发

商业化和大多数自制SPM开发和研制的目的主要是获得表面的信息,要想使它适合扫描探针加工的要求,必须对其进行一些必要的改进。本文讨论在DI公司多功能SPM基础上开发的纳米加工系统。     

压电陶瓷用于纳米定位系统的研究

压电陶瓷PZT用于纳米定位系统的研究，给出了一种二维纳米定位机构和有效消除压电陶瓷压电误差的方法，设计了闭环数字控制系统．实验表明：该定位系统行程10μm,定位精度10nm，定位分辨率达2nm．     

频率调制半导体激光绝对干涉测距研究现状

介绍了近年来研制的频率调制半导体激光绝对干涉测距系统，对其优缺点进行了分析，并指出该技术今后发展需要解决的几个问题．     

基于AFM电场诱导氧化的纳米加工

研究利用STM/AFM进行电场诱导氧化加工以及环境(特别是湿度)对纳米加工的影响。通过理论推导得出生成氧化物的线宽与探针偏压有着密切的联系,分析了偏压和场强对氧化速度的影响,比较了相对湿度分别为53%和92%时的加工结果,并在理论上论述了温度对加工的影响。     

扫描探针显微镜扫描器运动误差的研究

对由压电陶瓷的压电误差造成的扫描探针显微镜扫描器的运动误差进行了较详细的实验研究和理论分析,分析了各项误差的产生原因及其实验现象,据此可对误差进行判断和修正。