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叙述了激光核聚变、大型非球面和共形光学零件的超精密加工技术 ;将超精密切削、磨削、计算机数控抛光和连续抛光技术结合起来 ,成功地应用于激光核聚变光学零件的超精密、批量制造 ;分析了研制大型非球面光学零件超精密加工装置应该解决的关键问题 ,并提出了解决方法 相似文献
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吴明根 《航空精密制造技术》1993,(2)
名古屋工业技术研究所SP46型非接触式研磨机,研磨盘与工作轴以20~200r/min的转速作同向、高精度旋转,工作悬浮在研磨盘上,在研磨液的化学作用及微细粉末粒子的撞击下产生研磨作用。轴系皆采用液体动静压轴承,可加工Φ170mm的工件。该机可加工出表面粗糙度为2nm的硅片,加工Φ100mm、厚度为30mm的BK7光学玻璃,平面度为0031μm,表面粗糙度(均方根偏差)可达0.0038μm。特别适合微电子功能材料及光学平面的超精密加工,具有广阔的应用前景。 相似文献
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为解决大口径太赫兹波探测系统束控元件加工精度差、效率低的难题,本文提出了一种利用LODTM数控光学加工机床进行SPDT(单点金刚石车削)制备太赫兹波束控元件的方法。该方法属于确定性加工范畴,通过使用单晶金刚石刀具进行超精密切削加工,可直接得到适用于太赫兹波段的高面形精度的反射及透射类元件。针对铝基金属材料进行了加工工艺实验,得到了口径Φ300mm的太赫兹雷达主反射镜;并利用精密坐标测量技术对主反射镜的面形精度进行检测,其检测结果优于设计指标。实验表明,基于LODTM确定性超精密加工得到的太赫兹波束控元件具有面形精度高、表面光洁度好等优点,可实现太赫兹波探测系统的高精度和低成本目标。 相似文献
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激光陀螺反射镜基片精密抛光技术的研究 总被引:1,自引:1,他引:0
本文在实验研究的基础上论述了超光滑反射镜基片的精密抛光技术。通过抛光模、抛光液、抛光压力、抛光速度等对抛光质量影响的研究,提出了获得0.1nm(?)级表面粗糙度,无损伤超光滑光学表面的工艺参数组合。 相似文献
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脆性材料塑性域的超精密加工方法 总被引:11,自引:0,他引:11
较全面的总结了目前国内外脆性材料超精密加工的各种先进方法,并从中总结了各种加工方法所存在的一些优缺点,以此希望能对我国脆性材料塑性域超精密加工的研究有所启迪。 相似文献
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介绍了微结构功能表面加工中的问题,以同轴调制锯齿波微结构的金刚石超精密加工为例阐述了其加工原理,结合试验对刀具刀尖圆弧半径、被加工材料和切削液等切削条件与金刚石超精密切削加工后的微结构功能表面之间的关系进行了分析与讨论,并对主轴转速和刀具进给速度等切削用量与金刚石超精密切削出的微结构功能表面之间的关系进行了分析与讨论. 相似文献
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利用游离磨粒加工方法对马氏体平面不锈钢SUS440C试件进行精密加工.通过田口实验方法对研磨阶段的工艺参数进行了优化,涉及的工艺参数包括研磨盘转速、加工载荷和加工时间.利用优化的研磨工艺加工后试件表面粗糙度达Ra72nm.抛光过程中使用聚氨酯抛光垫和二氧化硅磨粒,经抛光后试件表面粗糙度达Ra8nm、表面呈镜面. 相似文献
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This paper discusses the relationships that must be considered in analyzing the design and performance of typical precision stabilization systems. In particular, the disturbance inputs that are due to kinematic and geometrical coupling are examined in depth by considering systems implemented with either a conventional two-axis gimbal or a traditional half-angle mirror assembly. The disturbance coupling that is associated with the gimbal drive actuators and the effect of structural compliance on the stabilization control loops are also discussed in detail. Other aspects of stabilization system design that are considered include the potential improvements in performance that can be achieved by using appropriate multiaxis gimbal configurations and by utilizing the angular pointing characterisitics of beam expansion telescopes. 相似文献
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瑞士GF阿奇夏米尔集团 《航空制造技术》2010,(16)
<正>以创纪录时间实现微细结构镜面加工。GF阿奇夏米尔公司凭借MIKRON HSM 400、400U、500 LP Precision系列机床在瑞士机械制造业树立了新的里程碑。 相似文献
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