| 基于LODTM的大口径太赫兹波束控元件确定性超精密加工 |
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| 引用本文： | 李迪,罗松保,张建明,徐昌语,庞长涛,刘宝苑.基于LODTM的大口径太赫兹波束控元件确定性超精密加工[J].航空精密制造技术,2014(5). |
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| 作者姓名： | 李迪 罗松保 张建明 徐昌语 庞长涛 刘宝苑 |
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| 作者单位： | 中航工业北京航空精密机械研究所,北京,100076 |
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| 基金项目： | 863国家高技术研究发展计划资助项目(2008MG1501)；航空科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 为解决大口径太赫兹波探测系统束控元件加工精度差、效率低的难题,本文提出了一种利用LODTM数控光学加工机床进行SPDT(单点金刚石车削)制备太赫兹波束控元件的方法。该方法属于确定性加工范畴,通过使用单晶金刚石刀具进行超精密切削加工,可直接得到适用于太赫兹波段的高面形精度的反射及透射类元件。针对铝基金属材料进行了加工工艺实验,得到了口径Φ300mm的太赫兹雷达主反射镜;并利用精密坐标测量技术对主反射镜的面形精度进行检测,其检测结果优于设计指标。实验表明,基于LODTM确定性超精密加工得到的太赫兹波束控元件具有面形精度高、表面光洁度好等优点,可实现太赫兹波探测系统的高精度和低成本目标。
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| 关 键 词： | 太赫兹 LODTM 超精密 确定性加工 精密测量 |
Deterministic Ultra-Precision Machining Technique for Large Aperture Terahertz Wave Shading Components Based on LODTM |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | terahertz large optics diamond turning machine ultra-precision deterministic machining precision measurement |
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