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惯性器件制造中零件系列孔径检测技术 总被引:1,自引:0,他引:1
为了确保惯性器件制造质量,研制了一种误差最大变动范围小于1μm的计量器具,设计制造出了结构新颖的测量装置,通过计算和验证,合理确定测量范围和测量力,解决了高精度的小型传感器和位移传递精度高的检测技术问题,把在位检测技术提高到一个新的水平。 相似文献
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