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| 激光陀螺反射镜基片精密抛光技术的研究 | |
| 引用本文： | 任敬心,黄奇,康仁科,张智龙,杨威.激光陀螺反射镜基片精密抛光技术的研究[J].航空精密制造技术,1992(1). |
| 作者姓名： | 任敬心 黄奇 康仁科 张智龙 杨威 |
| 作者单位： | 710072，西北工业大学十系，西北工业大学十系，西北工业大学十系，西北工业大学十系，西北工业大学十系 |
| 摘 要： | 本文在实验研究的基础上论述了超光滑反射镜基片的精密抛光技术。通过抛光模、抛光液、抛光压力、抛光速度等对抛光质量影响的研究,提出了获得0.1nm(?)级表面粗糙度,无损伤超光滑光学表面的工艺参数组合。 |
| 关 键 词： | 反射镜基片 超光滑表面 精密抛光技术 |
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