自测试谐振加速度计

本文描述了一种新型谐振式加速度计，该加速度计中的横梁和振动摆耦合为一体，且横梁受内置式压敏电阻激励后，传感摆的振动变化，加速度使振动摆偏移原始位置。造成传感器内部件特征应力变化，使谐振频率发生改变，本文着重研究谐振梁振动特征，在高振幅非线性区域，理论与实际地处理显示结果，该加速度计电-热干扰可以相互消除谐振传感原理保证了该传感器的准数字信号输出，高灵敏度以及完整的力学试验，先进的自动安全系统和电子伺服系统要求传感器结构可靠。传感器自测试性能，在运行中内部元件无需结构调整。自测试理论也可用于非谐振式结构的传感器。     

硅微谐振式加速度计结构设计与仿真优化

硅微谐振加速度计以高精度的频率信号输出成为硅微传感器的研制热点之 一。在分析硅微谐振式加速度计工作机理的基础上,采用一种新的基于双检测质量块和 谐振音叉低附加质量的硅微谐振式加速度计结构形式。运用ANSYS 对加速度计关键结 构尺寸进行仿真优化,明确了关键结构尺寸的变化对加速度计性能的影响规律。结果表 明：杠杆支撑梁长度、杠杆支撑梁宽度、杠杆支撑梁位置、音叉梁宽度、梳齿宽度和质 量块支撑梁宽度对整体结构性能影响最大。所设计的加速度计谐振基频约为21kHz,标 度因数为92Hz/g,在±30g 加速度输入下非线性达到0.322‰。     

微传感器最新发展

近年来，微传感器受到国际传感技术界的广泛关注，本文介绍十多个微传感器，包括三轴加速度计，单，双轴加速度计片，表面微机械陀螺（角速度传感器），微惯性导航系统，微磁通门传感器，磁阻传感器，纳米皮拉尼压力传感器，微科氏质量流量计，毫米波图像传感器，GPS手表（1cm^3)，二氧化碳传感器和微/超微角位移传感器，文事简要介绍它们的基本结构。敏感机理，特点等，从中可以看出微传感器已成为传感技术中有重要应用前景的组成部分。     

石英振梁加速度计研究现状及发展趋势

石英振梁加速度计是一种基于振梁谐振和力频特性原理的新型全固态惯性传感器，具有高精度、大量程、低功耗、直接频率脉冲输出等突出特点，已被广泛应用于战术武器系统。简要介绍了石英振梁加速度计的工作原理、技术特点，梳理了分体式和一体式两种仪表结构的研究现状和关键技术。结合国外研究发展趋势，指出石英振梁加速度计将成为后续达到摆式积分陀螺加速度计精度和抗辐照指标、满足战略级需求最有可能的加速度计方案。     

无刷直流电机主电路设计及其换向过程研究

阐述一种采用电容储能型变换器拓扑结构作为主电路的无刷直流电机系统，介绍该系统换向所采用的新型无位置传感器技术-“三角计数换向法”。     

封底说明

封底照片列举了当前汽车传感器中的一些产品例：节气门传感器、角度位置传感器、阀位移传感器等七大类型传感器，它们是我们上海航天局803所研制和生产的汽车传感器系列产品。该七大类传感器是航天军工武器系统的衍生产品，具有质量可靠、寿命长、精度高的特点。产品投放市场，经过广大客户的使用之后，受到广泛的好评。我们的服务宗旨是：“质量第一、用户至上；以质量求发展、求效益、求生存。”我们竭诚为广大新老客户提供一流的产品，一流的质量和完善的售后服务。     

光纤加速度传感器

光纤传感器发展很快，它作为测量元件被应用到惯性技术中，除光纤陀螺外，光纤加速度计的应用成为必然。光纤加速度计与机电加速度计相比，精度高，灵敏度好，它集光机电技术于一体。文中简述了开环和闭环光纤加速度计的工作原理，技术难点，及应用前景。     

表面微加工惯性传感器的实例—一种电容式加速度计

本文介绍了单一芯片上的三敏感轴表面微加工加速度计的技术原理，传感器的设计以及与之相关各单轴加速度计的测量结果。传感器的机械结构由厚为１０微米的多晶硅层采用高淀积速率淀积工艺加工而成。实现该传感器的全部制造过程是考虑到与化ＢＩＣＭＯＳ制造过程合二为一的要求。     

基于模态局部化效应的微机械加速度计研究进展

模态局部化效应是安德森局部化在结构动力学中的一种具体表现形式,其利用振动模态的能量局部集中效应实现了灵敏度的大幅度提高。因此,模态局部化效应近年来逐渐被用于研制高精度的谐振式传感器。介绍了模态局部化效应的基本原理及发展历程,及其在各类谐振式传感器中的应用及研究现状,包括质量传感器、电荷传感器、位移传感器以及刚度传感器。最后,着重介绍了模态局部化效应在惯性敏感器件加速度计中的应用及研究现状。     

导航控制系统用硅传感器的开发

当前，硅微机械器件引起导航与控制系统传感器开发者们越来越密切的关注，微硅加速度计和角速率传感器最根本的优势在于其体积小，功耗低，相对成本较低，而且与微电睡的组合成本低，可实现。本文介绍了ＲＤＣ在微硅加速度计和多用传感器研制方面的成果，介绍了硅平衡式加速度计和频率输出型开环加速度计的基本特性，同时，探讨了今后导航和控制系统中硅微机械应用的技术路线。     

微机械加速度计

本文论述微机械加速度计,主要介绍它们的工作原理和设计规范,以及各种装置的结构,装配技术以及设备的技术,封装和界面电子电路,还有微机械惯性传感器在商业化过程中的发展行情,惯性传感性能在不断提高,如今的微加速度计的分辨率达ug级,电路和封装技术的发展满足了惯性传感器发展的需求。     

石英谐振加速度传感器芯片设计与仿真

分体式石英谐振加速度传感器在性能提升上受到装配误差等因素的影响较大，故提出一种全石英谐振加速度计芯片结构，包括下层的硅结构和上层的石英结构。下层的硅基底仅作为支撑结构进行加工制作，敏感单元为全石英材料，硅结构与石英结构键合到一起，结构加工完成后去除硅材料，以释放石英敏感单元。整体结构为中心对称，包括质量块、音叉结构、微杠杆结构和应力分配梁，芯片通过微杠杆结构来增大传感器的灵敏度，并通过应力分配梁使石英音叉两根振梁上的内应力均匀一致。通过仿真验证了设计的有效性，仿真的差动灵敏度为35Hz/g。     

差动式电涡流传感器在摆式加速度计中的应用

差动电涡流传感器因结构简单、灵敏度高、线性范围大而得到广泛的应用。本文主要论述了差动式电涡流传感器在摆式加速度计中的应用,实验结果表明该设计结构合理、工艺可行,能满足使用要求。     

新型高度对称压电式三轴加速度计的结构与仿真

单片压电式加速度计采用对称四边梁结构，中间放置一个检测质量块，定性与定量分析加速度计算结构，用定元法模拟静态模式，模拟分析不同加速度计的机械响应，模拟结果显示该加速计可以传感三个轴向模拟加速度，理想状态下X、Y、Z-轴向灵敏度约为21mv/g,15mv/g,和15mv/g。并且耦合灵敏度近似为零，与理论计算相符。某些结构优化后还能改善加速度计的性能。     

MS8000硅微加速度计的测试与分析

硅微加速度计作为一种新型惯性传感器,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势。本文阐述了MS8000硅微加速度计结构和工作原理,并对其重要性能参数进行了测试和分析。     

光纤传感器在测量领域的发展与应用

光纤传感器是近年来发展起来的一种新型传感器的技术，本文介绍了两种不同类型的新型光纤传感器的结构原理及在不同领域的应用，并介绍了光纤传感器在测量领域广阔的应用前景。     

一种摆式大量程加速度计的设计

介绍了一种摆式大量程加速度计的工作原理.基于经典控制理论完成了加速度计各环节数学模型的建立,对加速度计悬丝支承、力矩器、位移传感器、伺服电路等部件进行了说明,阐述了该大量程加速度计的技术特点.     

微米光栅加速度计力反馈系统设计

针对高分辨率微米光栅加速度计中存在的输出非线性和动态范围小的问题,提出了一种基于静电驱动的静电力反馈方法.该方法一方面将质量块位移锁定在最佳工作点,提高加速度计的线性度;同时利用静电力反馈实现微米光栅加速度计的力反馈控制,提高它的动态范围.给出了微米光栅加速度计的力反馈检测原理,建立了静电力反馈控制模型和基于力反馈的微米光栅加速度计系统的数学模型,在此基础上优化了PI控制单元,搭建了微米光栅加速度计力反馈系统,实现了力反馈控制.实验结果显示:当质量块位移锁定在最佳工作点处时,微米光栅加速度计的量程比未加力反馈时增大了33.4倍,非线性度抑制了6.4倍.     

新型光纤加速度计系统

这篇论文陈述了一种用于较大型号结构振动的小型光纤加速度计系统。该系统由一个（或多个）感应头以及一个用于驱动传感器和程序感应数据的控制单元构成。此感应结构是建立在一种具有波动光栅现象光纤的新型综合，该测算结果是精密的且可靠的。加速度系统光纤样机能够成功的被开发研究，它包括一个感应头，一个低功率控制单元以及一个具有唯一高性能波动光栅加速度信号器的软件包装。总之，在这篇论文中自由振动和振动带测试被运用于区别认识感应系统的动力特征和展示该系统的高性能。     

即将推出的IEEE加速度计标准和其它惯性传感器标准

经IEEE／AESS陀螺仪和加速度计小组批准后，一份新的加速度计技术规范格式指南和试验方法的标准，即将被美国电气和电子工程师协会采纳拟作为“IEEEStd.1293”标准布发布，该标准对加速度计性能参数的规定提供指导，并为检查是否符合要求提供了详细的试验方法。该标准同时给出了力矩平衡摆式加速度计、振梁加速度计和在一个硅片上的开环与闭环微机械加速度计的工作原理。标准还包含有一些有用的附录：滤波器声，瞬态分析方法，标定和建模方法（多位置翻滚，振动和冲击试验分析），以及惯性仪器试验中的地球物理效应的影响。在标准IEEEStd.863-1992中介绍了加速度计的离心试验。以外，本文还讨论了已由陀螺和加速度计小组编写完毕的角加速度计、单自由度和双自由度转子陀螺仪、激光陀螺仪和干涉光纤陀螺仪的标准。本文还讨论了由该小组推出的一种新的哥氏振动螺仪的文件。