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由于静电场的负刚度导致控制回路系统的不稳定,因此静电力闭环硅微加速度计控制系统设计是硅微加速度计技术的关键核心技术,也是硅微加速度计设计的难点技术之一。在硅微加速度计项目研制过程中,我们解决了仪表回路系统的稳定性问题、高增益和带宽的问题,保证了仪表启动的快速性、精度和稳定性。 相似文献
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硅微加速度计作为一种新型惯性传感器,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势。本文阐述了MS8000硅微加速度计结构和工作原理,并对其重要性能参数进行了测试和分析。 相似文献
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冯惠明 《自动驾驶仪与红外技术》2000,(2):19-25
本文论述微机械加速度计,主要介绍它们的工作原理和设计规范,以及各种装置的结构,装配技术以及设备的技术,封装和界面电子电路,还有微机械惯性传感器在商业化过程中的发展行情,惯性传感性能在不断提高,如今的微加速度计的分辨率达ug级,电路和封装技术的发展满足了惯性传感器发展的需求。 相似文献
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现代工程中常常需要对平面的水平或斜度进行测量。目前普遍使用的测斜仪器主要有水泡式、电容传感器式、电位计传感器式等。它们测量精度低,易受外界环境的干扰,响应速度慢,难以满足实时性高的动态测量要求。本文介绍了硅微加速度计在动态测斜中的应用,叙述了应用中的几个关键技术问题,并给出了实地测量的结果。本文最后指出。硅微加速度计应用于动态测斜完全可行,通过合理的系统设计,可获得较高的精度。 相似文献
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华冠雄 《自动驾驶仪与红外技术》2002,(2):36-45
本文概括叙述了惯性传感器技术,描述了在目前工业上的应用和它在近期及远期应用的前景。惯性传感器技术发展的趋势也在此得到详细阐述,即干涉型光纤陀螺,微机械陀螺和加速度计,还有微型光学传感器。微机械传感器和改进后的光纤陀螺预计在不远的将来会替代许多现行系统中采用的环形激光陀螺或者机械传感器。新技术成功的引进主要是由成本原因所驱使的,采用这些新技术的系统的成本项目也在此陈述。利用全球定位系统(GPS)辅助的惯性导航系统已使导航应用的领域面更扩大化,例如制导炸弹。这些新的应用场合将促使具有极其低廉价格、可批量生产的传感器的开发。 相似文献
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硅微谐振加速度计以高精度的频率信号输出成为硅微传感器的研制热点之
一。在分析硅微谐振式加速度计工作机理的基础上,采用一种新的基于双检测质量块和
谐振音叉低附加质量的硅微谐振式加速度计结构形式。运用ANSYS 对加速度计关键结
构尺寸进行仿真优化,明确了关键结构尺寸的变化对加速度计性能的影响规律。结果表
明:杠杆支撑梁长度、杠杆支撑梁宽度、杠杆支撑梁位置、音叉梁宽度、梳齿宽度和质
量块支撑梁宽度对整体结构性能影响最大。所设计的加速度计谐振基频约为21kHz,标
度因数为92Hz/g,在±30g 加速度输入下非线性达到0.322‰。 相似文献
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微型传感器和高效信号处理之间的结合对于获得导航应用中所需的技术指标是至关重要的。文中概述了一种微机械硅角速率传感器的性能,表明它的主要缺陷是由一项重要的偏置漂移构成。本文建立了它的误差模型并且将它应用在基于卡尔曼滤波的修正运算之中。 相似文献
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微小型无人机用微磁数字罗盘集成系统的设计 总被引:4,自引:1,他引:3
针对现有微磁数字罗盘成本高、输出频率低、动态定姿时易发散等问题,结合微小型无人机(MUAV)导航与控制系统的组成特点,设计了一种利用MUAV机载微惯性测量单元(MIMU)中的天向陀螺输出判断无人机的运动状态,采用MIMU中的3轴加速度计组件测量的地球重力矢量,配合3轴磁阻传感器测量的地球磁场矢量,共同进行姿态确定的微磁数字罗盘集成系统。对传统的环境干扰磁场校正方法进行了完善与验证,使之适合于空间三维定姿。试验结果表明:系统总体性能良好,航向精度可达0.5°,成本为同类产品的1/5,输出响应可达50 Hz,满足应用于MUAV导航控制系统的微磁数字罗盘的高精度、低成本和实时性的要求。 相似文献
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微机械加速度计发展现状浅析 总被引:1,自引:0,他引:1
自微机电系统(MEMS)技术以IC工艺为基础发展以来,微机械加速度计便作为其中一个耀眼的应用实例大放异彩。在国外,上世纪九十年代就有低精度微加速度计产品,同时国内也开始了相关研究。时至今日,微加速度计已经按高精度、中精度、低精度三个精度等级分别发展。以麻省理工大学(MIT)Draper实验室为代表的一些国外机构已经研制出10-7g级别的高精度微加速度计样机并尝试在潜射导弹、洲际导弹再入等方面取得应用,乃至将来替代高精度摆式积分陀螺加速度计(PIGA);以COLIBRYS、Honeywell等公司为代表的商业机构,依托自身科研能力,致力于将中精度微机械加速度计推出量产化的单表和组合成品并推向低端军用和高端民用市场;以AD、ST等公司为代表的跨国公司,依托自身工艺线,推出大量的微机械加速度计,占领了消费电子市场。国内的研制分工也越来越细化,技术路线、行业分工、研究内容、需求牵引都越来越明确,其中压阻式、热对流式微机械加速度计已经产业化,微机械加速度计已有小批量的产品,硅微谐振式加速度计也显示了很好的发展前景。本文试对发展现状进行了简单评析。 相似文献
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自1970年开始的这段时间,以集中精力推进新的导航技术的发展为其特点。由于今天几乎所有任务的性能需求都可以由25年前的仪表加以满足,因而有理由提出这样一个问题,即什么因素驱动惯性技术的发展。对这个问题的回答也批了未来25年技术发展可能走的道路和方向。干式调谐二自由度陀螺仪的出现与完善,光学陀螺、谐振陀螺、石英谐振加速度计及微机械硅仪表的兴起都受一个目的和一个需要的驱动,目的是提高惯性系统的寿命、降 相似文献
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基于MEMS陀螺和加计的微惯性测量单元研制 总被引:3,自引:0,他引:3
微惯性测量单元具有成本低、体积小、功耗低和抗冲击等优点,可以应用在车辆稳定控制、平台稳定及导航控制系统中,具有广阔的市场应用前景.详细介绍了采用三轴MEMS陀螺和三轴MEMS加速度计研制的微惯性测量单元硬件设计,对信号进行预处理、陀螺漂移补偿、降噪等处理.所研制的低成本MIMU经过补偿后零位漂移保持在:X轴、Y轴、Z轴,可以应用到普通导航领域. 相似文献
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本文介绍了单一芯片上的三敏感轴表面微加工加速度计的技术原理,传感器的设计以及与之相关各单轴加速度计的测量结果。传感器的机械结构由厚为10微米的多晶硅层采用高淀积速率淀积工艺加工而成。实现该传感器的全部制造过程是考虑到与化BICMOS制造过程合二为一的要求。 相似文献
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分体式石英谐振加速度传感器在性能提升上受到装配误差等因素的影响较大,故提出一种全石英谐振加速度计芯片结构,包括下层的硅结构和上层的石英结构。下层的硅基底仅作为支撑结构进行加工制作,敏感单元为全石英材料,硅结构与石英结构键合到一起,结构加工完成后去除硅材料,以释放石英敏感单元。整体结构为中心对称,包括质量块、音叉结构、微杠杆结构和应力分配梁,芯片通过微杠杆结构来增大传感器的灵敏度,并通过应力分配梁使石英音叉两根振梁上的内应力均匀一致。通过仿真验证了设计的有效性,仿真的差动灵敏度为35Hz/g。 相似文献
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邓宏论 《自动驾驶仪与红外技术》2004,(3):16-23
随着惯性技术的发展,它的方向发生了新的变化,微机械技术日益占据重要的地位。石英振梁加速度计正是这样的一种微机械惯性仪表,因此有必要对其进行以下全面描述。在这篇文章中介绍了惯性技术的发展方向,石英振梁加速度计的发展状况、基本原理、主要构成和主要材料、主要优点,其研制的主要技术、途径也被提到,并进行了简单的精度分析。 相似文献