导航控制系统用硅传感器的开发

当前，硅微机械器件引起导航与控制系统传感器开发者们越来越密切的关注，微硅加速度计和角速率传感器最根本的优势在于其体积小，功耗低，相对成本较低，而且与微电睡的组合成本低，可实现。本文介绍了ＲＤＣ在微硅加速度计和多用传感器研制方面的成果，介绍了硅平衡式加速度计和频率输出型开环加速度计的基本特性，同时，探讨了今后导航和控制系统中硅微机械应用的技术路线。     

微机械加速度计

本文论述微机械加速度计,主要介绍它们的工作原理和设计规范,以及各种装置的结构,装配技术以及设备的技术,封装和界面电子电路,还有微机械惯性传感器在商业化过程中的发展行情,惯性传感性能在不断提高,如今的微加速度计的分辨率达ug级,电路和封装技术的发展满足了惯性传感器发展的需求。     

光纤加速度传感器

光纤传感器发展很快，它作为测量元件被应用到惯性技术中，除光纤陀螺外，光纤加速度计的应用成为必然。光纤加速度计与机电加速度计相比，精度高，灵敏度好，它集光机电技术于一体。文中简述了开环和闭环光纤加速度计的工作原理，技术难点，及应用前景。     

离子淀积可提高表面粗糙度等级

离子淀积可提高表面粗糙度等级在切削刀具上采取等离子体辅助的离子强制淀积（ＩＡＤ）技术，可以得到更均匀的、较好粘附力和极光滑表面的ＴｉＮ涂层。与ＰＶＤ（物理气相渡积）涂层比较，用ＩＡＤ技术所获涂层显著地降低刀具的摩擦，即减少刀具的磨损．这就排除了ＰＶＤ...     

随机振动校准加速度计方法研究

介绍了随机振动校准加速度计系统的实现.使用随机信号传感器绝对校准方法,得到了较为理想的加速度计频响曲线.与传统的方法相比在保证校准精度的前提下,提高了效率.     

自测试谐振加速度计

本文描述了一种新型谐振式加速度计，该加速度计中的横梁和振动摆耦合为一体，且横梁受内置式压敏电阻激励后，传感摆的振动变化，加速度使振动摆偏移原始位置。造成传感器内部件特征应力变化，使谐振频率发生改变，本文着重研究谐振梁振动特征，在高振幅非线性区域，理论与实际地处理显示结果，该加速度计电-热干扰可以相互消除谐振传感原理保证了该传感器的准数字信号输出，高灵敏度以及完整的力学试验，先进的自动安全系统和电子伺服系统要求传感器结构可靠。传感器自测试性能，在运行中内部元件无需结构调整。自测试理论也可用于非谐振式结构的传感器。     

一种摆式大量程加速度计的设计

介绍了一种摆式大量程加速度计的工作原理.基于经典控制理论完成了加速度计各环节数学模型的建立,对加速度计悬丝支承、力矩器、位移传感器、伺服电路等部件进行了说明,阐述了该大量程加速度计的技术特点.     

微传感器最新发展

近年来，微传感器受到国际传感技术界的广泛关注，本文介绍十多个微传感器，包括三轴加速度计，单，双轴加速度计片，表面微机械陀螺（角速度传感器），微惯性导航系统，微磁通门传感器，磁阻传感器，纳米皮拉尼压力传感器，微科氏质量流量计，毫米波图像传感器，GPS手表（1cm^3)，二氧化碳传感器和微/超微角位移传感器，文事简要介绍它们的基本结构。敏感机理，特点等，从中可以看出微传感器已成为传感技术中有重要应用前景的组成部分。     

MS8000硅微加速度计的测试与分析

硅微加速度计作为一种新型惯性传感器,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势。本文阐述了MS8000硅微加速度计结构和工作原理,并对其重要性能参数进行了测试和分析。     

激光硬质合金涂层硬化

激光硬质合金涂层硬化法国Ｔｅｃｈｏｇｅｎｉｃ公司开发出一种用激光在薄的和不规则表面上涂上一层硬质合金硬化层的新技术．涂层时采用球形硬质合金粉末．该工艺能在复杂几何形状的薄的零件上淀积抗磨损涂层。以前，只能以高能级技术涂上厚的涂层，在薄的零件上淀积将会...     

电容探测系统在宇航加速度计中的应用

本文描述未来太空飞行器中的加速度计，采用的高灵敏度位置传感器的结构和性能，其机电转换机构的原理是一种电容位置传感结构，它在静电加速度计中探测“质量块”的移动。有一种所谓“面积变化电容器”的系统，在质量块上的反作用力很小，位置传感器分辨率在0－1Hz频带宽度范围内达到十分之几的皮米（10^-12米），用δ-△转换器把位置数字化后反馈给加速度计控制器。     

基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度特性分析

静电驱动是实现微米光栅加速度计小型化和闭环力反馈控制的关键, 其引 入的静电刚度对加速度计灵敏度有着重要影响。对基于静电刚度的微米光栅加速度计灵 敏度特性进行分析。首先, 建立了基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度模型。其 次,通过MATLBA 仿真,得到静电驱动电压与传感器灵敏度的理论关系。最后,对理论 分析结果进行了实验验证,结果表明静电刚度可以改善系统刚度,静电电压从1.25V 到 2.05V 等间隔变化时, 加速度计的灵敏度由871mV/g 变化为1148mV/g, 分别相对于未加 电时的灵敏度783mV/g 提高了0.46dB 到1.66dB,提高了微米光栅加速度计的灵敏度。本 文研究内容对集成式闭环微米光栅加速度计的研究提供参考。     

金属模具的等离子熔积直接成形及精整加工

结合具体的金属模具制造,简要叙述了等离子熔积直接制造金属零件的基本工艺过程,并详细地介绍了该技术中的熔积成形和后续精整加工等主要工艺过程。     

PVD CrN改进工具的寿命和性能

ＰＶＤ　ＣｒＮ改进工具的寿命和性能１５年前开发出ＣＶＤ（化学气相淀积）后，ＣＶＤ和继之研制的ＰＶＤ（物理气相淀积）成为改进刀具和模具性能及寿命的两个重要的技术手段．但是合理应用这些工艺及其涂层需要设计师在多种涂层材料（ＴｉＮ、ＴｉＣ、ＴｉＣＮ、ＴｉＣ...     

石英振梁加速度计研究现状及发展趋势

石英振梁加速度计是一种基于振梁谐振和力频特性原理的新型全固态惯性传感器，具有高精度、大量程、低功耗、直接频率脉冲输出等突出特点，已被广泛应用于战术武器系统。简要介绍了石英振梁加速度计的工作原理、技术特点，梳理了分体式和一体式两种仪表结构的研究现状和关键技术。结合国外研究发展趋势，指出石英振梁加速度计将成为后续达到摆式积分陀螺加速度计精度和抗辐照指标、满足战略级需求最有可能的加速度计方案。     

浅谈微加速度计的整流误差

为明确微机械加速度计在振荡输入过程中直流输出的情况,着重分析了静电力反馈电容式微加速度计振荡频率低于微加速度计带宽和在微加速度计带宽附近两种情况下的失衡机理。为说明微加速度计与传统加速度计的整流误差差异,对两种整流误差的情况进行了半定量计算。本文的结论说明了微加速度计与石英挠性加速度计等传统惯性仪表在整流误差方面的区别;在此基础上,引申出由于整流误差决定不同种类的微加速度计有着不同标定要求和适用范围的结论。     

新型速率和加速度传感器

美国联信航宇公司正就客户对它研制的一种适用于惯性测量装置的新型数字式速率和加速度传感器的兴趣进行调研。这种仍处于研制初期的传感器采用科氏(Coriolis)加速度来测量速率。每个采用微机械加工称为FIX(微型)Sciras的硅科氏传感器包含两个作为单块结构一部分的加速度计,这两个加速度计以恒定频率的幅值抖动来感测科氏加速度。三个传感器以正交方式安排可精密测量三轴的线加速度和角速度。据公司称,若采用直接数字接口,传感器及转换精度为每小时几度。     

张丝式加速度计及其应用

在航空及其他国防工业的测试技术领域里,振动冲击过程的测试是一个重要课题。对于脉冲作用时间较长(100毫秒以上)、频谱范围较低(几十赫芝以下)的振动冲击量,常用压电晶体式加速度计测量,但不能测量波形的直流分量,无法正确反映振动冲击过程的全貌,它的使用受到限制。张丝式加速度计是一种非粘贴式应变传感器,能够测量波形的直流分量,有较好的动态特性,比较适宜于作用时间较长、频谱范围较低的振动冲击过程     

一种加速度计自动测试系统的设计与应用

提出了一种将精密转角控制、温度控制、加速度计信号的采集与处理集成在一起的加速度计自动测试系统。该系统提高了加速度计生产过程中批量测试标定的可信度和效率。     

集成电路式压电加速度计

恩德福克公司称为LSOTRON的传感器的中文名称为集成电路式压电加速度计。在这种加速度计中采用了内装集成式电荷放大器，达到了低阻抗输出，所以抗干扰能力强，对各种环境因素不敏感，不必用屏蔽电缆、普通塑料皮绞合线就能满足要求。用同一根线既可供电，又可输出信号，即使使用长电缆也不会降低灵敏度，不会增加噪声，因此降低了造价，改善了性能。恩德隔克生产的几十种集成电路式压电加速度计已成为系列产品，并生产与之配套的各种二次仪表。集成电路式压电加速度计@赵昕