基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度特性分析

静电驱动是实现微米光栅加速度计小型化和闭环力反馈控制的关键, 其引 入的静电刚度对加速度计灵敏度有着重要影响。对基于静电刚度的微米光栅加速度计灵 敏度特性进行分析。首先, 建立了基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度模型。其 次,通过MATLBA 仿真,得到静电驱动电压与传感器灵敏度的理论关系。最后,对理论 分析结果进行了实验验证,结果表明静电刚度可以改善系统刚度,静电电压从1.25V 到 2.05V 等间隔变化时, 加速度计的灵敏度由871mV/g 变化为1148mV/g, 分别相对于未加 电时的灵敏度783mV/g 提高了0.46dB 到1.66dB,提高了微米光栅加速度计的灵敏度。本 文研究内容对集成式闭环微米光栅加速度计的研究提供参考。     

石英谐振加速度传感器芯片设计与仿真

分体式石英谐振加速度传感器在性能提升上受到装配误差等因素的影响较大，故提出一种全石英谐振加速度计芯片结构，包括下层的硅结构和上层的石英结构。下层的硅基底仅作为支撑结构进行加工制作，敏感单元为全石英材料，硅结构与石英结构键合到一起，结构加工完成后去除硅材料，以释放石英敏感单元。整体结构为中心对称，包括质量块、音叉结构、微杠杆结构和应力分配梁，芯片通过微杠杆结构来增大传感器的灵敏度，并通过应力分配梁使石英音叉两根振梁上的内应力均匀一致。通过仿真验证了设计的有效性，仿真的差动灵敏度为35Hz/g。     

基于结构参数的硅谐振式加速度计频率特性分析

硅谐振式加速度计精度高、稳定性好、数字输出,且体积小、成本低、易于集成,是惯性加速度计未来的发展方向之一.根据谐振式加速度计的原理对其关键结构参数对谐振频率及加速度计灵敏度的影响进行了理论分析,并结合硅谐振式加速度计的具体工作情况与谐振梁的实际结构合理设置仿真边界条件,分别对一种硅谐振式加速度计谐振器的谐振梁宽度、谐振梁厚度、谐振梁长度以及双谐振梁间距进行仿真分析,从理论与仿真两个方面得到了关键结构参数对谐振频率与加速度灵敏度的影响规律,验证了仿真结果与理论推导结果的一致性与差异点,为后续高机械灵敏度结构设计提供参考依据.     

一种分体式石英振梁加速度计的研制

加速度计作为导航制导系统的重要元件，要在严酷的条件下及系统全生命周期内保证精度、稳定性、线性度等性能指标要求，这对加速度计的研制提出了极大的挑战。介绍了一种基于振梁谐振和力频特性原理的分体式石英振梁加速度计，给出了加速度计的总体结构和简化的力学模型，并进行了受力分析，指出不能简单通过增加摆质量的厚度来提高加速度计的标度因数。阐述了用双端固定音叉结构制作石英振梁的工艺加工过程，指出铬金掩膜的制作是振梁加工的关键工序。针对振梁等效参数，电路采用具有更大增益的双门振荡器方案。最后，对加速度计进行了标定测试，标度因数为55Hz/g，量程达到±70g，4h的零偏稳定性为8.1μg。测试结果表明，双振梁推挽差分输出的设计有效改善了加速度计的零偏稳定性。     

硅微谐振式加速度计结构设计与仿真优化

硅微谐振加速度计以高精度的频率信号输出成为硅微传感器的研制热点之 一。在分析硅微谐振式加速度计工作机理的基础上,采用一种新的基于双检测质量块和 谐振音叉低附加质量的硅微谐振式加速度计结构形式。运用ANSYS 对加速度计关键结 构尺寸进行仿真优化,明确了关键结构尺寸的变化对加速度计性能的影响规律。结果表 明：杠杆支撑梁长度、杠杆支撑梁宽度、杠杆支撑梁位置、音叉梁宽度、梳齿宽度和质 量块支撑梁宽度对整体结构性能影响最大。所设计的加速度计谐振基频约为21kHz,标 度因数为92Hz/g,在±30g 加速度输入下非线性达到0.322‰。     

SHQ—16型标准加速度计已通过鉴定

作为振动传递标准使用的SHQ-16型标准加速度计。由六二五所于一九七六年研制成功后,经使用考验,证明性能稳定、可靠。为推广使用统一航空振动测量标准,在北京召开了"SHQ-16型标准加速度计鉴定会”。会议有国家和部分省市计量部门,以及七机部、三机部部分厂、所共23个单位27名代表参加。代表一致认为:SHQ-16型标准加速度计性能稳定,结构可靠,设计考虑细致,工艺要求严格,并有一套完整的工装、测试设备保证产品质量,其主要技术性能指标已达到国际水平。其技术性能指标为: 1.电荷灵敏度≥1.2×10~(-12)库仑/g 2.频率响应20～3000周/每秒±1％     

光纤加速度传感器

光纤传感器发展很快，它作为测量元件被应用到惯性技术中，除光纤陀螺外，光纤加速度计的应用成为必然。光纤加速度计与机电加速度计相比，精度高，灵敏度好，它集光机电技术于一体。文中简述了开环和闭环光纤加速度计的工作原理，技术难点，及应用前景。     

加速度计横向灵敏度测试方法研究

随着加速度计在地震勘探、轨道交通等领域的广泛应用,横向灵敏度已经成为加速度计校准和实际应用中的重要参数。根据测试加速度向量维度的不同,对现有的加速度计横向灵敏度测试方法进行分类,指出各种测试方法及测试装置在横向灵敏度幅度、频率和方向角测试方面的局限性,并对相关问题的研究进展进行论述,指出加速度计横向灵敏度测试方法的研究方向。     

HB/Z28-80 简介

为使飞机振动环境测量结果满足一定的精度要求,编制了《飞机飞行环境振动测量中振动加速度计校准技术要求》指导性技术文件,经部批准,于1981年1月1日开始实施,编号为HB/Z28—80。现对几个问题简单介绍如下:1．校准内容和方法加速度计灵敏度是随着使用环境温度而变化的,当使用环境温度已知,并与校准时环境温度相差大时,则应根据灵敏度一温度变化曲线,对测量结果进行温度修正。灵敏度—温度曲线一般在加速度计出厂时已给出,如果没有给出,则应进行温度校准。考虑到温度校准比较麻烦,我们假定灵敏度—温度曲线形式不随时间变化,故不要求进行定期温度校准。     

一种可实现增益、带宽独立调控的低噪声MEMS加速度计接口电路设计

为了进一步满足振梁式加速度计（VBA）对前端放大接口电路增益、带宽以及噪声的更高要求，提出了一种适用于硅微振梁式加速度计的可实现增益、带宽独立调控的低噪声前端放大接口电路。该设计基于T型接口电路的两级拓扑结构，有效解决了增益、带宽和噪声之间的制约问题。通过仿真与实验结果表明，该设计在等效跨阻增益为40MΩ的前提下，最终实现了带宽为410kHz、相位误差为1.2°、等效输入电流噪声密度为8.9fA/Hz。基于该设计的实验样机在上电稳定后1h零偏不稳定性达1.156μg，相较于传统一级跨阻接口电路减小了49.2%（2.274μg），验证了该新型接口电路的可行性和优越性。     

集成电路式压电加速度计

恩德福克公司称为LSOTRON的传感器的中文名称为集成电路式压电加速度计。在这种加速度计中采用了内装集成式电荷放大器，达到了低阻抗输出，所以抗干扰能力强，对各种环境因素不敏感，不必用屏蔽电缆、普通塑料皮绞合线就能满足要求。用同一根线既可供电，又可输出信号，即使使用长电缆也不会降低灵敏度，不会增加噪声，因此降低了造价，改善了性能。恩德隔克生产的几十种集成电路式压电加速度计已成为系列产品，并生产与之配套的各种二次仪表。集成电路式压电加速度计@赵昕     

加速度计及其组合在带伺服转台的精密离心机上的试验研究

加速度计在重力场（1g范围内）的试验研究比较成熟，而它在大于1g环境的静态和动态试验在重力场内是无法实现的，随着飞机，导弹，卫星的导航和控制技术的发展，某些系统强调在大于1g条件下加速度计或其组合的性能及其对系统的影响。本文采用一种1*10^-4g至20g范围的带有伺服转台的精密离心机测试加速度计，解决了加速度计在重力场和离心机上性能标定技术和两个加速度计组合在精密离心机上作物理仿真试验的关键问题。并提出捷联或平台惯性导航系统在该设备作大g正弦振动，并隔离角速度的概念。     

一种手自一体石英挠性加速度计温控仪的设计

为满足惯性导航系统中石英挠性加速度计精确测试要求,设计了一种以模拟电路和功率放大为核心的高精度加速度计温度控制仪器,温控精度达到0.02℃.该温控仪除具有精密温度控制外,还具有手动模拟量测量、自动模拟量测量及多通道I/F输出测试于一体的特点.为满足多只加速度计测试一致性要求,采用单一温度受控的采样电阻方法,提高了石英挠性加速度计性能指标如4小时稳定性、模拟量长期重复性测试的准确性和稳定性.     

湍流扩散火焰局部熄火现象的大涡模拟研究

为了研究湍流扩散火焰的燃烧特性和局部熄火现象的机理,使用火焰面/反应进度模型对Sandia湍流值班射流火焰E进行大涡模拟。火焰面/反应进度模型适用于非预混燃烧,基于守恒标量和反应标量构建火焰面数据库,将详细的化学反应过程映射到这两个特征标量的平面上。数值模拟结果与实验数据符合得较好,火焰面/反应进度模型能较好地模拟湍流扩散火焰和预测火焰的不稳定性。研究发现,火焰在轴向距离与中心射流直径比值为7.5至15的截面处局部熄火概率较大,这与该位置标量耗散率偏大有关;火焰在轴向距离与中心射流直径比值为30以后的流场重新点燃,原因是混合物分数和当量比变小,火焰更多处于贫燃状态。     

带止口定心传扭结构高速转子轴向预紧力估算方法

针对涡桨发动机带止口定心传扭结构低压模拟转子的轴向预紧力开展研究,为带止口定心传扭结构高速转子轴向预紧力的确定提供理论分析方法。采用分段圆筒的简化思想,建立了前三级压气机盘和中心拉杆的简化模型。基于弹塑性力学和材料力学理论并考虑离心载荷的影响,揭示了轮盘间轴向力变化量与转速之间的关系,对设计确定的低压模拟转子初始轴向预紧力进行了评估。研究表明:评估的低压模拟转子初始轴向预紧力能确保止口定心传扭结构可靠工作,研究成果具有理论意义和工程应用价值。     

加速度计冲击特性的绝对校准方法

从描述测量系统的微分方程出发,用系统的输入输出数据辨识系统的离散传递函数,弥补在加速度计灵敏度校准中不能给出加速度计动态特性的缺陷,再应用系统的离散传递函数将加速度计输出信号恢复为一定的动态特性范围内“真实”的现场冲击加速度－时间历程。     

差动式电涡流传感器在摆式加速度计中的应用

差动电涡流传感器因结构简单、灵敏度高、线性范围大而得到广泛的应用。本文主要论述了差动式电涡流传感器在摆式加速度计中的应用,实验结果表明该设计结构合理、工艺可行,能满足使用要求。     

浅谈三种电容式微加速度计的空气阻尼

为明确梳齿电容式与"三明治"电容式微加速度计的噪声极限与相关的三类结构形式对应的微机械加工工艺影响,着重分析了三种工艺实现下的典型参数微加速度计的大气环境下空气阻尼情况,并剖析了不同的结构形式与不同的加工工艺对结构型式的约束和对精度极限的限制.为说明由尺度效应带来的微加速度计受空气阻尼影响而产生的远大于传统加速度计的机...     

平移、旋转加速度计

平移、旋转加速度计ＡＭＰ公司开发的ＡＣＨ—０４—０８加速度计可以测量单向旋转和双向平移的加速度．传感器为双列直插式，尺寸为１１ｍｍｘｇｍｍ，高度为Ｚｍｍ。由于装有２个ＥＰＲＯＭ，故可调节８级灵敏度．灵敏度调节范围：角加速度为０．２～Ｚｒａｄ／ｓ’；两...     

一种摆式加速度计结构模态分析

利用ANSYS软件对一种单轴摆式加速度计的结构进行了有限元分析,得出了各阶模态下加速度计结构的固有频率和振型,找到了处于该型加速度计通频带之内的模态频率。然后,对加速度计进行了结构优化,使各阶模态频率处于通频带之外,为加速度计的结构改进提供了理论依据。