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141.
用于合成金刚石薄膜的微波等离子体CVD系统 总被引:2,自引:0,他引:2
研制了一套功率容量大、结构合理、工作稳定的微波等离子体CVD系统。描述了系统的基本结构和性能,讨论了它的特点。作者利用该系统,在单晶Si等衬底材料上成功地合成了金刚石薄膜。 相似文献
142.
鼓泡法在金刚石薄膜/硅基界面结合强度定量测量中的应用分析与试验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在分析现有的各种关于薄膜性能评价试验方法的基础上,从实验角度探讨了有关鼓泡力学模型在金刚石薄膜/硅基结合强度的测量评价方面应用的可行性。 相似文献
143.
介绍用脉冲电子束烧蚀法在不同温度的单晶硅 (1 1 0 )衬底上沉积铌酸锂铁电薄膜 ,以及用脉冲电子束进行薄膜晶化处理的实验结果 ;使用扫描电子显微镜 (SEM)、X射线衍射 (XRD)、光电子能谱 (XPS)等方法 ,对薄膜的成份、晶体结构及表面形貌进行分析测试。采用表面轮廓仪测定 LN薄膜的膜厚分布均匀性等。文中探讨了靶材料烧蚀和沉积过程中出现的诸多现象。研究表明 ,这种薄膜制备方法有许多独特之处 ,随着该项技术的不断改进和发展 ,将为光电集成电路提供一种新工艺和新技术 相似文献
144.
145.
146.
方鲲%毛卫民%吴其晔%刘文言%敖明 《宇航材料工艺》2004,34(2):21-25
概述了导电高分子(CPs)作为新型电致变色材料的特点、电致变色原理及红外发射器件的设计,并对国外在飞行器导热控制和红外、雷达伪装上的应用发展状况进行了介绍。 相似文献
147.
148.
纳米铁薄膜是近年来国内外纳米材料科学关注的前沿领域之一,在诸多领域有广泛应用。目前大规模低成本制备方法还有待研究。以铁丝为原材料,利用羰基金属的化学特性,采用化学气相沉积法在石英基片上沉积纳米铁薄膜,利用扫描电子显微镜对不同条件下制备的薄膜进行了分析。结果表明采用以纯铁为原始材料,可以在较宽的实验条件下形成不同特点的纳米铁薄膜。 相似文献
149.
150.
以双层壳型冲击/气膜复合冷却结构的平壁模型作为研究对象,进行了该种结构典型冷却单元的放大模型实验研究。通过改变冲击Re数(10 000~40 000),冲击间距和冲击孔直径之比H/D(0.17~2.0),冲击孔和气膜孔间距与冲击孔直径之比P/D(0~5.0)等参数,利用热膜法研究了该典型冷却单元结构中内表面的换热特性。研究结果表明:参数Re,H/D,P/D对内表面局部换热系数的影响呈现出复杂的关联性。在本文的实验工况参数条件下,随着冲击Re数的增加,内表面换热效果逐步增强;并且存在一个最佳的H/D和P/D范围使得内表面换热效果最佳。综合分析实验结果,当H/D=0.67,P/D=3时,双层壳型冲击/气膜冷却结构内表面能达到最佳的换热效果。 相似文献