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1.
研究了制备工艺对微波等离子体CVD金刚石成膜质量的影响。详细讨论了基片在等离子体中的位置、基片台结构、N2等离子体预处理及启动条件对金刚石成膜均匀性的影响。提出了能获得均匀金刚石膜的制备工艺程序。  相似文献   
2.
静态氧化过程中热障涂层的剥落机理   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用静态氧化试验方法,评定了采用阴极电弧镀方法制备NiCrAlY粘结层、电子束物理气相沉积方法制备Y-PSZ陶瓷层的热障涂层在1100℃的抗氧化性能。重点研究了粘结层表面预处理方法对陶瓷面层剥落模式及失效界面特征的影响,考察了1100℃静态氧化过程中涂层的氧化动力学和相结构的变化,讨论了引起陶瓷面层剥落失效的机理。试验结果显示,在本试验条件下,粘结层氧化是陶瓷面层剥落失效的主要原因,这与表面预处理不当导致的粘结层抗氧化性能下降有关。  相似文献   
3.
研究了Mo、Nb镀层对YG6基体上金刚石形核及生长的影响。结果表明。厚度3000的Mo镀层促进了金刚石形核,而Nb镀层的存在却不利于金刚石形核。但是,两种镀层均不改变金刚石晶粒的形貌待征。  相似文献   
4.
用于合成金刚石薄膜的微波等离子体CVD系统   总被引:2,自引:0,他引:2  
研制了一套功率容量大、结构合理、工作稳定的微波等离子体CVD系统。描述了系统的基本结构和性能,讨论了它的特点。作者利用该系统,在单晶Si等衬底材料上成功地合成了金刚石薄膜。  相似文献   
5.
通过对Co扩散阻挡层在CVD过程中冶金行为的理论分析,建立了计算Co扩散阻挡层临界厚度δ临的数学模型。指出:阻挡层厚度δ≥δ临是抑制Co对金刚石沉积不良影响的必要条件。  相似文献   
6.
海棠之恋     
踏雪赏海棠 08年春节,一场六十年来遇的大雪裹夹着漫天寒雾,笼罩蓉城,那段时日,阳光稀少得让人想起“蜀犬吠日”这句成语。在御翠草堂内的石阶上,道路旁,湖岸边,多了几许北风肆虐后的落叶,少了往日游客的脚步和喧闹。  相似文献   
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