激光点火系统用1×2 MEMS光开关研究

激光点火是把激光作为一种“精密”点火源,利用激光的高能量特性,通过传输介质起爆或点燃火工品的技术.本文针对激光点火系统的应用需求,对一种1×2 MEMS光开关的结构、驱动方式以及微加工工艺进行了研究.经测试,光开关的综合性能满足激光点火系统低插入损耗、短响应时间和高隔离度的要求.     

无人地效飞行器控制系统研究

针对无人地效飞行器的特点,基于MEMS陀螺、加速度计和电子罗盘等传感器设计了飞行控制系统.详细介绍飞行器数学建模、数据融合算法以及飞行控制系统软件设计.仿真结果和实物飞行表明;该系统稳定性好、精度高,能够满足实时控制的要求.     

基于陀螺和星敏感器的卫星姿态确定算法

主要研究了基于陀螺和星敏感器配置的卫星姿态确定算法.为保证卫星姿态确定的高精度,利用星敏感器提供的姿态四元数结合扩展卡尔曼滤波,对陀螺漂移进行实时补偿.并利用在轨数据,通过matlab数学仿真,验证了高精度滤波算法的有效性.所设计的滤波器能准确估计陀螺漂移,估计误差优于5.56×10-5(°)/s;姿态估计误差优于0....     

基于GPS/MEMS微惯性导航系统的 混合校正方法研究

针对GPS/MEMS 微惯性组合导航系统, 为了提高算法的可靠性和导航精 度, 研究了Kalman 滤波算法。分析了DSP 数字系统的运算能力、构建了优化的数学模 型, 提出了Kalman 滤波混合校正方法, 并将此方法应用于搭建的组合导航系统。通过 跑车试验对该方法进行了验证,试验结果表明,系统的导航精度,姿态误差在0.5°,航 向角误差2°,速度误差0.5m/s。     

大厚度硅结构高精度干法刻蚀技术研究

增大敏感结构厚度是提高微机电陀螺性能的一个途径。对大厚度敏感结构,在刻蚀过程中易出现"长草"、"缩口"和"屋檐"等典型缺陷,同时刻蚀后侧壁垂直度、刻蚀均匀性较差,严重影响其尺寸精度。研究了刻蚀/钝化比、刻蚀阶段钝化气体通入时间和反应气体流量等工艺参数对刻蚀形貌的影响,提出了一种分步刻蚀的方法,获得了侧壁垂直度89.95°与片内均匀性3.4%的刻蚀结果。     

微机电陀螺解调过程中的噪声传递机理研究

微机电陀螺的噪声性能是衡量陀螺综合性能的重要指标之一,不仅与陀螺本身机械结构有关,还与其测控电路有着密切联系。本文将通过理论推导计算出噪声经过乘法解调和开关解调时的传递机理,指出开关解调会使解调信号中的谐波成分和解调输入噪声向解调后的基带中进行混叠,相对于纯正弦解调会增大噪声,最后应用LabVIEW软件进行纯软件仿真和半实物仿真验证,并通过实际测试数据证明其正确性,为陀螺解调方案的选择提供依据。     

国外MEMS陀螺及组合力学环境适应性技术研究进展

针对工程使用过程中，振动、冲击和过载等力学输入造成微机电(Micro-Electro Mechanical System, MEMS) 陀螺及组合性能恶化的问题，对国外MEMS陀螺及组合力学环境适应性技术研究进展进行了梳理。从敏感结构、封装体、器件/系统层级，设计、加工工艺、封装和系统集成等角度，介绍国外主流的力学环境适应性技术方法，为国内相关技术的研究提供参考。     

First results of PRECISE—Development of a MEMS-based monopropellant micro chemical propulsion system

PRECISE focuses on the research and development of a MEMS-based monopropellant micro chemical propulsion system for highly accurate attitude control of satellites. The availability of such propulsion systems forms the basis for defining new mission concepts such as formation flying and rendezvous manoeuvres. These concepts require propulsion systems for precise attitude and orbit control manoeuvrability. Application-oriented aspects are addressed by two end-users who are planning a formation flying mission for which the propulsion system is crucial. Basic research is conducted aiming at improving crucial MEMS technologies required for the propulsion system. Research and development also focuses on the efficiency and reliability of critical system components. System analysis tools are enhanced to complement the development stages. Finally, the propulsion system will be tested in a simulated space vacuum environment. These experiments will deliver data for the validation of the numerical models.     

基于MEMS技术的低成本组合导航系统

针对某型航空炸弹对低成本、高精度导航系统的需求,采用已逐渐成熟并在实际中得到应用的微惯性测量组合(MIMU)与高精度、高数据更新率的GPS接收机进行数据融合,组成优势互补的低成本组合导航系统.最后对其进行了半实物仿真实验,结果表明这种低成本的组合导航系统具有精度高、成本低、性价比高的优良指标.     

基于灰色模型的MEMS陀螺温度补偿

首先,分析了温度对零偏的影响机理,并针对环境温度影响导致MEMS陀螺零位输出变化较大的问题,提出了一种基于灰色模型的温度补偿方法,即原始数据先通过灰色模型进行预处理;然后,根据灰色模型处理过的数据,建立一种补偿模型,并用该模型对测试的数据进行预测补偿。试验表明,采用该方法使陀螺零位在全温范围内稳定精度提高了一个数量级,证明了提出方法的可行性和有效性。