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陶锡有 《流体力学实验与测量》1997,11(2):65-68
测量脉动压力用压阻式压力传感器,通过有限元应力分析求得灵敏度高,线性又好的双岛硅膜片结构;采用双面对准光刻工艺,各向异性腐蚀微机械加工制硅膜片等新技术。最后给出了脉动压力传感器的动、静态性能指标。 相似文献
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为了提高低量程应变式压力传感器的精度,将测力轮毂应变梁与带中央硬芯的测压膜片相结合,构成了新颖的梁膜一体的弹性元件。通过有限元方法对弹性元件的结构参数进行匹配,找到了最佳参数值,并制作实物加以验证,表明所选参数是适当的,使传感器的精度得到了大幅度提高,满足了低量程压力范围内高精度测量的要求。同时该传感器具有结构简单、易于加工装配、成本低廉的特点,符合传感器技术发展的需要。 相似文献
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李普良 《燃气涡轮试验与研究》1996,(3):33-37,46
介绍了压气机进口压力畸变场测试用传感器实时校准系统的技术要点、系统构成和校测结果。表明采用该系统后,能在保证测试精度前提下节省测压系统经费,适用于压力传感器多,量程一致的的压力测试中。 相似文献
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对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件,硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究 :建立了微传感器敏感结构的工程用数学模型;以所建立的模型实际设计了敏感结构参数 :方形膜边长 4 mm,膜厚 0.1 mm,梁谐振子长 1.3mm,宽 0.0 8mm,厚 0.0 0 7mm;采用微机械加工工艺加工出了原理样件;采用电热激励、压阻拾振方式对其进行了开环测试 相似文献
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梁-膜结构微压传感器研制 总被引:1,自引:0,他引:1
由四个弹性梁和一个刚性中心膜构成的梁-膜结构,具有平面应力集中效应,与一般的结构相比,这种膜片在受到微压时即产生较大的应力集中,使传感器在测量微压时有较高的灵敏度,它的特别的结构能解决一般结构膜片在很薄时由膜应力和弯曲应力产生的严重的非线性。介绍的这种双面腐蚀形成的梁-膜结构的硅压阻式微压传感器的设计就是采用这种应力集中原理,芯片结构的力学特性分析及样件测试结果表明,这种结构的微压传感器具有较高的灵敏度和较低的非线性,成功地实现了对微小压力的测量。利用有限元仿真计算对用于100Pa压力测量的梁-膜结构硅压力传感器的结构参数进行优化,并对芯片版图设计、制作工艺技术和传感器的特性等问题进行了讨论。 相似文献
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提出一种应用于微谐振式压力传感器的敏感结构,其一次敏感元件为矩形硅膜片,膜片的上表面架设有三个两端固支的硅谐振梁,间接感受压力作用,根据膜片上不同位置设置的硅谐振梁的固有频率对于压力变化有不同的变化规律的特点,实现对被测压力的差动输出检测。针对这种结构,建立被测压力与谐振梁固有频率的数学模型。设计实际尺寸参数进行计算分析,得出谐振梁的分布位置和几何参数对其振动特性的影响规律,给出了由差动输出解算压力的公式,验证了所提出的结构的设计思想和优化参数的可行性。 相似文献
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针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件 ;采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器 ,分析了其工作机理 ;依幅值、相位条件讨论了该谐振式微传感器的闭环自激系统 ;建立了微传感器的温度场模型和热应力模型 ,并进行了仿真计算与分析 相似文献
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该系统是为校检各种压力传感器和数字式压力计而试制的。使用它,使校检过程完全自动化,大大地提高了校检的速度和准确度。 本系统由157/100型压力标准、IBM-PC微机和高低温箱等近十台设备组成。软件是用FORTRAN语言、宏汇编语言和关系数据库dBASFⅢ写成的。计算机采用人-机对话方式 相似文献
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在中国空气动力研究与发展中心超高速所弹道靶上利用电子密度测量系统进行了高超声速钢球模型、铜球模型尾迹电子密度测量。电子密度测量系统由8mm微波干涉仪系统、开式微波谐振腔测量系统和闭式微波谐振腔测量系统组成。钢球模型直径φ10mm,速度分别为5.8、5.5、5.6和5.5km/s,对应的飞行环境压力分别为2.79、5.32、5.85和10.91kPa。铜球模型直径φ10mm,速度分别为5.6、5.6、5.7和5.5km/s,对应的飞行环境压力分别为1.33、4.79、5.89和10.91kPa。结果表明:(1)在压力5.3~11kPa范围内、速度约5.5km/s试验条件下,压力越高,钢球模型的尾迹电子密度相应增大,电子密度的衰减速度较快;(2)在压力1.3~6kPa范围内、速度约5.6km/s试验条件下,压力越高,铜球模型的尾迹电子密度相应增大,电子密度的衰减速度较慢;(3)在压力约10.7kPa、速度5.5km/s试验条件下,铜球模型的尾迹电子密度衰减速度比钢球模型慢得多。 相似文献
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介绍美国ENTRAN公司生产的EPI型超小型动态压力传感吕,在全尺寸轴对称紊流发生器研制试验中应用过程中,对出现的一些问题作了技术性能的探讨,提出了相应的改进措施,并就压力传感器的安装及与测量系统的配备作了介绍。 相似文献
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飞行器从地面上升到太空的过程中所经历的大幅度环境参数变化,会导致飞行器及机载设备出现"超热"、"过冷"和"热分层"等现象。为得到不同环境压力下的关键参数--自然对流换热系数,本文搭建了一个能提供不同气压和环境温度的封闭试验舱,对在不同压力环境(0.0001,0.01,0.1,0.2,0.5,1,10,50 kPa和常压)下几种固定加热量(75,150,300 W/m2)的竖直平板散热进行了实验研究,通过对辐射散热和对流散热的分析比较,获取不用工况下气体的对流换热系数。结果表明:对流换热系数在绝对气压小于1 kPa时非常小,可以视作为0;在绝对气压大于1 kPa时,对流换热系数随压力的升高呈2次方增加;通过对环境物理参数的无因次化处理,得到的准则式方程可用于1~100 kPa的环境压力。 相似文献
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对某发动机上的空气雾化喷嘴进行了实验研究, 以探讨燃烧室压力对空气雾化喷嘴性能的影响。实践证实本文研究结果对高压下空气雾化喷嘴的设计做了有益的探索。 相似文献
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某型飞机进气道测量耙研制 总被引:6,自引:1,他引:5
由于某型飞机设计定型试飞的需要,需在进气道流场中设计一个装有压力或温度传感器的参数测量装置(以下简称测量耙)。由于安装环境的特殊性,其结构设计的难度和要求是空前的。本文对该测量耙的设计条件和创新结构作了详细的叙述。该测量耙通过强度计算和振动试验考核后,最终获许装机使用,并顺利完成某型飞机设计定型试飞的测试任务。在其它型号飞机的试飞中,该进气道测量耙的结构设计也得到了广泛使用。 相似文献
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初始压力和狭缝高度对狭缝内起爆距离影响的实验 总被引:1,自引:0,他引:1
为获得狭缝内爆轰波起爆距离(DID)的变化规律,分别在宽度为10mm,高度为1.0,2.2,2.9,4.0mm,长度为1220mm的狭缝爆轰管内对不同初始压力下(5~45kPa)化学当量比的乙烯/氧气混气进行单次爆轰性能实验研究.根据烟迹法、高速摄影图片判定起爆位置,得到初始压力和狭缝高度对爆轰波起爆距离的影响规律.结果表明:①在初始压力为10~20kPa时,起爆距离随着狭缝高度增加逐渐缩短;②在初始压力为25~40kPa时,起爆狭缝距离随着狭缝高度变大先降低后增加,在初始压力为45kPa时,起爆距离随着狭缝高度增加而变长;③综合初始压力和狭缝高度的影响,初步得到起爆距离随初始压力和狭缝高度等参数变化的量纲归一化经验公式. 相似文献
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通过两种型号航空发动机在高空台上的H=0、M=0试验,研究了不同环境压力对发动机地面试验性能的影响。试验结果表明,对研究的发动机地面试验而言,当发动机风扇换算转速在93%-96%时,环境压力在70~90kPa之间得到的地面换算性能基本一致。即对研究的两种型号发动机H=0、M=0试验来说,可以通过70kPa环境压力下的地面试验来确定发动机在标准大气海平面静止条件下的性能。 相似文献