基于任务的微机电惯性系统规模化测试技术研究

针对传统惯性测试技术测试周期长、测试效率低、测试成本高等问题，提出了基于任务的微机电惯性系统规模化测试解决方案。研究分析了微机电惯性系统测试技术的研究现状和发展趋势，建立了基于任务的微机电惯性系统测试体系，详细论证了微机电惯性系统批量、并行、自动化测试解决方案的可行性，为微机电惯性系统规模化测试实践奠定了基础。     

旋转调制微机电惯性系统方案研究

微机电惯性系统具备小体积优势，但现阶段系统精度仍在消费级与战术级之间。研究了旋转调制技术在微机电惯性系统中的应用，探讨了基于PCB小型化电机的微旋转方案，并开展了单轴旋转调制验证试验，以探索旋转调制技术对微机电惯性系统性能的提升作用。结果表明，在微机电陀螺精度约为2(°)/h的条件下，该方案能够实现约0.2n mile/10min的导航精度，相较于同等惯性器件条件下的捷联式系统，精度提高了不止1个数量级，证明了该方案能够有效提高微机电惯性系统的精度。     

导航控制系统用硅传感器的开发

当前，硅微机械器件引起导航与控制系统传感器开发者们越来越密切的关注，微硅加速度计和角速率传感器最根本的优势在于其体积小，功耗低，相对成本较低，而且与微电睡的组合成本低，可实现。本文介绍了ＲＤＣ在微硅加速度计和多用传感器研制方面的成果，介绍了硅平衡式加速度计和频率输出型开环加速度计的基本特性，同时，探讨了今后导航和控制系统中硅微机械应用的技术路线。     

2022年国外惯性技术发展与回顾

惯性技术广泛应用于海、陆、空、天各种载体的导航、定位与控制。通过对2022年的IEEE惯性传感器与系统会议、DGON惯性传感器系统会议、MEMS国际会议和圣彼得堡组合导航会议等惯性技术相关会议文献以及惯性技术领域相关机构披露的动态信息进行的详细梳理,总结了光学陀螺、微机电(MEMS)陀螺、半球谐振陀螺(HRG)、加速度计以及新兴的量子惯性传感器等惯性仪表及惯性导航系统(INS)的发展现状,并对惯性技术领域的发展趋势进行了分析与展望。当前,惯性技术领域相关研究主要侧重于小型化、提高精度和降低成本等方面。其中,光学陀螺较为成熟,更为侧重于小型化相关研究;微机电陀螺正在致力于向导航级性能突破和发展;半球谐振陀螺主要着力于探索降低高端产品的制造成本。     

芯片级光钟技术综述

芯片级光钟是一种基于热原子中光频跃迁的新型光钟,近年来随着光子集成技术、激光技术和微机电技术的发展,该类光钟可以实现较小的体积和较高的精度,有望广泛应用于对体积、质量、功耗和精度敏感的各种国防装备中.介绍了国内外芯片级光钟技术的进展情况,阐述了芯片级光钟的相关技术,包括基于双光子跃迁的光频标技术、微制造气室技术和微腔光频梳技术等,分析了影响频率稳定度和准确度的主要因素,最后对芯片级光钟面临的机遇和挑战进行了简要的展望.     

微机械技术及其应用前景(上)

在80年代后期,国际高技术领域出现了一个值得重视的发展新动向——微机械技术(micromechanism),即微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem—MEMS)的崛起.微机电系统是体积非常小、重量很轻的机电一体化产品.其工作状况一般用肉眼是看不见的,必须借助于显微镜或专用仪器来观察.从产品角度看,它是利用微细加工技术将机构及其致动器、控制器、传感器、电源等集成在一个微小体积范围内发挥机械功能的机电一体化产品;从技术角度看,它是机、电、光、磁、化学、自动控制.传感技术与信息处理等多种技术     

微传感器最新发展

近年来，微传感器受到国际传感技术界的广泛关注，本文介绍十多个微传感器，包括三轴加速度计，单，双轴加速度计片，表面微机械陀螺（角速度传感器），微惯性导航系统，微磁通门传感器，磁阻传感器，纳米皮拉尼压力传感器，微科氏质量流量计，毫米波图像传感器，GPS手表（1cm^3)，二氧化碳传感器和微/超微角位移传感器，文事简要介绍它们的基本结构。敏感机理，特点等，从中可以看出微传感器已成为传感技术中有重要应用前景的组成部分。     

微传感器在军事上的应用

本文介绍了传感器、特别是微传感器在军事上的应用及技术发展热点。     

基于电涡流传感器测厚及材质鉴别的研究

电涡流传感器是基于电涡流效应工作的,具有灵敏度高、频响范围宽、可实现非接触式测量及适用性强等特点.此种传感器在金属镀层、板材厚度测量及材质鉴别中应用广泛.电涡流传感器有两种类型:低频透射式和高频反射式.低频透射式适于测量较薄的金属镀层或板材的厚度.高频反射式则适于测量较厚板材的厚度.     

微机电系统的国防应用及制造技术发展述评（上）

微机电系统技术是国示上８０年代后期以来发展迅速的一项新兴高技术，现在和潜在应用说明它将对国防武器装备产生重大影响，微机机械制造技术和封装，组装，测试技术是微机电系统赖以发展的基础，目前，许多工业发展发达国家已将微机电系统及其制造技术列为本世纪末和２１世纪初国家重点支持和发展的关键技术，本文集中对国防应用有重要意义的微机电系统及其制造技术。     

MEMS梳齿音叉陀螺零偏漂移特性研究

由于MEMS（微机电系统）音叉陀螺多用于车载及无人机导航等应用场合，而外界温度环境因素对其零偏性能有着很大的影响，因此其零偏漂移的大小直接影响着最终导航的性能。本文研究了全温范围传感器漂移特性，旨在提升陀螺零偏稳定性。通过改进电路设计以及采用实时补偿算法对其全温范围零偏漂移进行补偿，将零偏稳定性提升了一个数量级。     

多个MEMS惯性姿态模块同时标定方法研究

针对MEMS 惯性姿态模块的应用需求, 根据已有的MEMS 三轴加速度计和 三轴陀螺仪的零偏、标度因子和非正交等误差及其随温度的变化模型, 设计了多个 MEMS 惯性姿态模块误差同时标定的方法,该方法可实现多个模块传感器数据的同步采 集,在常温下可对多个MEMS 惯性姿态模块的非正交误差进行批量标定,在全温度范围 内同时标定多个模块的温度漂移误差。试验表明,该方法校正了MEMS 惯性传感器的非 正交误差和温度漂移误差,提高了MEMS 惯性传感器的精度,同时提高了标定的效率, 减少了标定成本,有利于工程实现。     

论微电子机械系统MEMS

简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ,并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ,执行器等作了介绍与分析 ,提出了微系统之间要研究的问题 ;探讨了微电子机械系统的发展应用前景     

MEMS Electronically Steerable Antennas for Fire Control Radars

Large apertures are of great benefit to applications that are prime powered limited as is found on aerostat and other airborne platforms. Electronically scanned array antennas are often proposed for these applications. However, increasing the aperture area with conventional array technology is met with prohibitive cost, weight, and prime power increases because of the dense spacing of phase shifters and/or active T/R modules. This discusses the recent development of RF MEMS (Microelectromechanical System) switch technology and the use of these switches in a Radanttrade lens configuration for arrays of approximately 10 m² at X-band. A proof-of-concept 0.4 m² MEMS Electronically Steerable Antenna (ESA) containing 25,000 MEMS switches has been successfully designed, fabricated, and tested. The 0.4 m² MEMS ESA was then integrated with an AN/APG-67 radar system to form the MEMS Demonstration Radar System. The MEMS Demonstration Radar System successfully detected both airborne and ground moving targets during a series of extensive radar demonstrations. This is believed to be the first large scale employment of MEMS switches in a scanning antenna and radar system. The low-cost, lightweight, and low power technology demonstrated can enable weight and power constrained platforms with electronic steering.     

MEMS惯性技术的研究与应用综述

MEMS技术是惯性技术未来主要的发展方向之一。本文介绍了国内外MEMS惯性仪表与系统的研究与应用概况,研究内容与关键技术,以及发展趋势。     

MEMS偏航角速度传感器在旋转导弹稳定回路中的应用

在旋转导弹稳定回路中，采用MEMS偏航角速度传感器用于弹体偏航角速度的测量，偏航角速度传感器是旋转导弹控制回路的重要组成部分。提出了一种全新的MEMS偏航角速度传感器技术方案，解决了MEMS偏航角速度传感器正交耦合、力学环境适应性、波形畸变等问题，实现了旋转导弹偏航角速度信号的精确测量。     

基于嵌入式平台的MEMS/GPS 组合导航系统实现研究

主要研究基于PC104平台的MEMS/GPS组合导航系统硬件实现方法.首先设计了对MTi-30 MEMS器件与GPS接收机的数据采集软件,基于统计分析方法分析建立了传感器的误差模型参数,构建了MEMS/GPS组合算法模型,基于MEMS惯性器件和GPS接收机实测数据确定了Kalman滤波器的系统噪声阵及量测噪声阵模型参数;然后利用实际测量数据进行了MEMS/GPS组合系统导航性能仿真;最后基于PC 104嵌入式平台,构建了MEMS/GPS组合导航系统原理样机,分别在静态和动态情况下完成MEMS/GPS组合导航算法实时测试,导航结果验证了硬件平台及导航算法的正确性.     

MEMs for Aerospace Navigation

The MEMS aerospace market has its own specificities in terms of market size, standards, and performance characteristics (very long term stability, reliability, and safety levels). Improvements are needed for future applications. THALES Avionics has a twenty-year experience in quartz and silicon MEMS design and manufacturing and is recognized as a leader by the French MOD in this field. MEMS pressure sensors and accelerometers are manufactured in large volume and used for safety-critical applications. THALES technology policy focused on planar architecture, die vacuum packaging, and deep reactive ion etching (DRIE) allowing good characteristics for sensors in development. A Silicon Vibrating Beam Accelerometer single chip is now under development. Its operating principle is described with two resonators in push-pull configuration. A tuning fork planar rate gyro is also developed with exactly the same technology for industrial efficiency. Performance results will be addressed. The development and industrialization road-map of theses inertial products is described for the following five years. Gyro-compassing grade inertial sensors would be available during the next decade allowing low-cost, high-grade navigators using simultaneously GNSS receivers and inertial MEMS navigators.     

Major new thrust for MEMS engines

The application of microelectromechanical systems (MEMS) to space flight is reviewed. The applications include use as microthrusters on mini-size and smaller satellites, in missile defense systems, and as propulsion systems for miniature unmanned aerial vehicles.