隔热背腔式柔性热膜探头的设计及其微加工

为了进一步提高器件性能,设计一种新型隔热背腔式柔性热膜传感器探头结构。借助流体传热耦合仿真和动态响应分析等,确定背腔结构参数;研发针对隔热背腔式柔性热膜探头的双面图形化微加工工艺,获得新型传感器件。对静／动态特性进行对比测试,结果表明：在相同的输入被测量情况下,新结构器件的输出信号量值提高了20％,时间常数由400μs减小到220μs,器件的灵敏度和动态响应性能都获得了有效提升。     

隔热背腔式柔性热膜探头微加工技术

为了进一步提高器件性能,提出了一种新型的隔热背腔式柔性热膜传感器探头结构。借助流体传热耦合仿真和动态响应分析等,确定了背腔结构参数。研发了针对隔热背腔式柔性热膜探头的双面图形化微加工工艺,获得了新型传感器件。对静动态特性进行了对比测试,结果表明,在相同的输入被测量情况下,新结构器件的输出信号量值提高了20%,时间常数由400μs减小到220μs,器件的灵敏度和动态响应性能都获得了有效提升。