| 隔热背腔式柔性热膜探头微加工技术 |
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| 引用本文： | 马炳和,郝日鹏,邓进军,朱鹏飞.隔热背腔式柔性热膜探头微加工技术[J].航空工程进展,2013,4(3). |
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| 作者姓名： | 马炳和 郝日鹏 邓进军 朱鹏飞 |
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| 作者单位： | 空天微纳系统教育部重点实验室,空天微纳系统教育部重点实验室,空天微纳系统教育部重点实验室,空天微纳系统教育部重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(50775188) |
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| 摘 要： | 为了进一步提高器件性能,提出了一种新型的隔热背腔式柔性热膜传感器探头结构。借助流体传热耦合仿真和动态响应分析等,确定了背腔结构参数。研发了针对隔热背腔式柔性热膜探头的双面图形化微加工工艺,获得了新型传感器件。对静动态特性进行了对比测试,结果表明,在相同的输入被测量情况下,新结构器件的输出信号量值提高了20%,时间常数由400μs减小到220μs,器件的灵敏度和动态响应性能都获得了有效提升。
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| 关 键 词： | 柔性热膜 隔热背腔 仿真 微加工 |
| 收稿时间： | 2012/12/5 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2013/2/25 0:00:00 |
Micro-Fabrication of Flexible Hot Film Sensor with Insulating Cavity Underneath |
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| Ma Binhe,HAO Ripeng,DENG Jinjun and ZHU Pengfei.Micro-Fabrication of Flexible Hot Film Sensor with Insulating Cavity Underneath[J].Advances in Aeronautical Science and Engineering,2013,4(3). |
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| Authors: | Ma Binhe HAO Ripeng DENG Jinjun and ZHU Pengfei |
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| Institution: | Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace,Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace,Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace,Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Flexible hot film Insulating cavity Simulation Micro-fabrication |
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