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对纳米级测量系统进行标定是一个难题。结合某一外差干涉测量系统,提出了一个对测量系统的分辨力、输入输出特性进行标定的简单易行的方法。 相似文献
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基于相对调制度的非方形干涉图处理方法 总被引:2,自引:0,他引:2
以相对调制度作为判据,划分干涉图中的有效点和无效点,并据此进行加权,采用加权最小二乘算法进行去包裹处理.采用这种方法可以有效减小包裹位相中坏点或无信息点对有效点去包裹位相的影响.以移相式干涉仪为例,给出了相对调制度的计算方法,简述了加权最小二乘去包裹算法的原理,并通过光学盘片的处理结果验证方法的正确性. 相似文献
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波长移相干涉技术是通过光源波长的改变来实现干涉信号的移相 ,原理上可以分离寄生干涉信号 ,同时也存在非线性误差 ,因此在算法上要求能对多次谐波进行较好的抑制 ,加权多步移相算法可以实现这样的目的。在该类算法的实际应用中 ,需要对加权值、移相间隔和采样步数等进行确定。 相似文献
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以相对调制度作为判据 ,划分干涉图中的有效点和无效点 ,并据此进行加权 ,采用加权最小二乘算法进行去包裹处理。采用这种方法可以有效减小包裹位相中坏点或无信息点对有效点去包裹位相的影响。以移相式干涉仪为例 ,给出了相对调制度的计算方法 ,简述了加权最小二乘去包裹算法的原理 ,并通过光学盘片的处理结果验证方法的正确性。 相似文献
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讨论了直线度误差的平均值及其极限误差问题;提出了各采样点示值数据图形相对于评定基线不同分布时的直线度误差的极限误差的分析计算方法,给出了计算实例,并得出了相应的结论。 相似文献
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