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对纳米级测量系统进行标定是一个难题。结合某一外差干涉测量系统,提出了一个对测量系统的分辨力、输入输出特性进行标定的简单易行的方法。  相似文献   
2.
Wollaston棱镜方位对激光干涉测量精度的影响   总被引:2,自引:0,他引:2  
在双频激光干涉测量系统中,Wollaston棱镜是不可缺少的重要光学元件,它可将双频激光按偏振方向分为测量光和参考光,从而实现高精度测量;但是,如果Wollaston棱镜的安装方位相对入射光线方向以及与聚集透镜距离不同时,测量结果将会不同。本文结合表面粗糙度激光测量系统,从理论上定量分析了Wollaston棱镜的安装方位对测量精度的影响。  相似文献   
3.
测角技术国内外发展概况   总被引:4,自引:0,他引:4  
叙述了国内外近年来角度测量技术最新发展动态。以列表的形式给出了各种测角技术的技术指标,表中给出的技术指标是指目前同类测角仪的最高水平。将测角技术(测角传感器)分为三大类,即机械式、光学式、电磁式,并在每一大类中又进行了详细分类。在每类测角技术(测角传感器)中,重点叙述了各种测角技术近年来的发展情况,包括技术特点、达到的技术指标。以同类型测角技术的国内发展情况作了对比叙述。给出了有关参考文献供读者参阅。  相似文献   
4.
讨论了如何利用石英品体的特性进行质量测量装置的设计。给出了机械结构图形和实验结果。并针对这种装置存在的问题提出改进意见,以利于进一步提高其测量准确度。  相似文献   
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