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高频溅射技术原理是在真空中充以惰性气体氩 ,在高压电场的作用下 ,氩气电离使阴极与阳极间产生辉光放电 ,经磁场作用增强等离子体并被电场加速成高能离子流 ,撞击到阴极靶材上 ,使靶材逐渐地、缓慢地“溃散” ,以原子或原子团甚至以剩余气体分子、化学结合物形成脱离靶材 ,淀积到衬底上 ,形成薄膜 ,这个过程称为“溅射”。又因使用射频电源 ,故称“高频溅射”。利用高频溅射技术能制取多种金属薄膜、半导体薄膜、化合物薄膜和合金薄膜等。本成果研制的高频溅射仪器具有以下特点 :(1)溅射室中有三个水冷阴极靶 ,可在一次真空条件下 ,制成不… 相似文献
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1 滴注式渗碳工艺过程自动控制滴注式气体渗碳是一种广泛应用的常规热处理方法。气体渗碳是将有机液体滴入炉罐中 ,高温下滴液分解产生富碳气氛 ,被零件表面吸咐、吸收并扩散 ,达到表面增碳的目的。由于渗碳过程中滴入有机液体种类不同 ,滴入量不同 ,炉内碳势变化极大 ,此种变化直接影响渗碳零件表层的碳浓度、浓度梯度、渗碳淬火硬化层深度和金相组织 ,致使性能下降。应用碳势控制已成为提高渗碳质量的重要方法。本成果以煤油为渗剂 ,以甲醇、空气为稀释剂 ,以CO2 、CH4 红外仪为传感器 ,实现了滴注式渗碳工艺过程的微机控制 ,并对渗碳… 相似文献
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1 双路探测器本产品同时应用红外、微波两种高科技技术 ,由于它要同时感应到人体的移动和体温 ,经过双重鉴别才发出信号 ,所以准确性高、不误报 ,是目前最为理想的防盗传感器。其控制面积 >5 0m2 ;探测距离8m～ 10m ;灵敏度移动 2目光～ 4目光 ;功耗≤ 0 .5W ;抗干扰频率范围 :2 7MHz～ 92 5MHz。该产品可用于机场、银行、仓库、商场、各机要部门监视环境 ,曾获科技进步奖 ,其水平与美国CK公司产品相仿。经济效益、社会效益显著。(南京电子器件研究所 ,南京 16 0 1信箱技术开发总公司 ,邮编 2 10 0 16 )2 细长筒内径测量细长筒工件在加… 相似文献
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在水质金属切削液中 ,含有一定量的表面活性剂、油质添加剂和防锈添加剂等 ,其中有无机盐类物质 ,也有有机化合物。水质金属切削液的成分为微生物 ,如细菌、酵母菌、霉菌等的生长和繁衍提供了充足的营养源。在温度适宜时 ,微生物便会生长和繁衍 ,导致水质金属切削液腐败变质。本成果针对微生物生长繁衍条件 ,对水质金属切削液防腐败变质的技术措施和质量保证手段等几个方面进行了研究。实验表明 ,水质金属切削液的质量保证应该在原液的配方上和生产后的储存、运输以及使用的全过程及日常管理中采取措施。本成果通过调整原切削液的配方、加强… 相似文献
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1 台阶轴小锥度轴高频淬火工艺本成果实现了分段速度进给连续淬火台阶轴工件的先进工艺 ,扩大了高频感应淬火工艺范围 ;采用微机程序控制系统 ,提高了自动化程度 ,生产效率高 ,质量稳定 ;本成果机电一体化 ,传动系统结构简单 ,与先进的液压无级传动淬火机床相比 ,成本大大降低 ,维修方便 ;微机并控淬火机与高频电源 ,操作简便 ,节省人力 ;微机可编程 ,用户语言设计合理 ,编程简便迅速 ,设备通用性好。最大连续淬火长度 70 0ｍｍ ;最大加热直径Φ2 50ｍｍ ;工件淬火移动速度为 0 .8ｍｍ/ｓ～ 2 3.4ｍｍ/ｓ ;工件旋转速度 0～ 180ｒ/ｍｉｎ ;… 相似文献
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