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超高反射率的激光反射镜制造中的波度 总被引:1,自引:0,他引:1
分析了超光滑反射镜基片的表面波度对反射率的影响。利用Form Talysurf轮廓仪和高分辨率激光轮廓仪对经古典抛光法加工的基片进行检测,其表面波度的波幅为5~30nm,波距为100~150μm。还分析了古典抛光法表面波度的形成规律,并给出了实测结果。 相似文献
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超精密光学抛光研究的进展及其发展趋势 总被引:6,自引:0,他引:6
综述了对精密光学抛光影响精度和质量的因素,对重要因素目前的研究进展进行了分析;介绍了新型超精密光学抛光技术及其达到的水平;还提出了精密先学抛光的发展趋势. 相似文献
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激光陀螺反射镜基片精密抛光技术的研究 总被引:1,自引:1,他引:0
本文在实验研究的基础上论述了超光滑反射镜基片的精密抛光技术。通过抛光模、抛光液、抛光压力、抛光速度等对抛光质量影响的研究,提出了获得0.1nm(?)级表面粗糙度,无损伤超光滑光学表面的工艺参数组合。 相似文献
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GH4169磨削表面粗糙度影响参数的敏感性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
通过GH4169高温合金平面切入磨削实验,建立了表面粗糙度的经验公式,分析了表面粗糙度对磨削参数的灵敏度,获得了磨削参数稳定域和非稳定域。结合正交试验法中的极差分析方法获得了不同磨削参数对表面粗糙度的影响曲线,进行了磨削参数区间的优选。研究结果表明:表面粗糙度对磨削深度的变化最为敏感,对工件速度的变化敏感次之,对砂轮速度的变化最不敏感;磨削深度优选范围为0.01~0.015mm,工件速度优选范围为10~15m/min,砂轮速度优选范围为20~30m/s,可控制表面粗糙度在0.7μm以内。为高温合金材料磨削表面粗糙度控制提供理论方法和试验依据。 相似文献
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散粒磨粒抛光运动轨迹的分析及数学模型的建立 总被引:3,自引:0,他引:3
通过对散粒磨粒抛光过程中的运动轨迹的分析与研究,提出以运动参数为控制因子的磨粒运动轨迹的数学模型,为实现计算机控制抛光过程奠定一定的基础 相似文献
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分析起光滑表面清洗技术所面临的问题和发展现状,介绍先进清洗技术的清洗机理、工作原理和基本实现方法,旨在促进这些新技术的研究和应用,使以超光滑表面为代表的半导体工业、微电子工业在高洁净表面清洗技术上得到进一步发展. 相似文献
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正确鉴别300M超高强度铜的磨削烧伤是磨削中的一项关键技术。本文根据300M钢磨削烧伤表面的相变特点,把磨削烧伤分为几种典型形式,并示出磨削烧伤表面的酸洗图片。研究表明,用酸洗法检查300M钢的磨削烧伤是可靠的。 相似文献