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| 超光滑表面清洗技术的最新进展 | |
| 引用本文： | 史兴宽,任敬心.超光滑表面清洗技术的最新进展[J].航空精密制造技术,1997(1). |
| 作者姓名： | 史兴宽 任敬心 |
| 作者单位： | 西北工业大学十系 |
| 摘 要： | 分析起光滑表面清洗技术所面临的问题和发展现状，介绍先进清洗技术的清洗机理、工作原理和基本实现方法，旨在促进这些新技术的研究和应用，使以超光滑表面为代表的半导体工业、微电子工业在高洁净表面清洗技术上得到进一步发展． |
| 关 键 词： | 超光滑表面 清洗 新进展 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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