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介绍了使用RENISHAW激光双频干涉仪检测机床回转轴的定位精度与重复定位精度的方法,以及对机床进行圆检验的方法。指出了使用激光干涉仪和球杆仪对机床进行检测时应注意的问题。 相似文献
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数控机床线性轴定位与重复定位精度的检测 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了使用英国RENISHAW公司生产的激光双频干涉仪检测数控机床的线性轴定位与重复定位精度的方法,并就检测中出现的具体问题给出了解决方法。 相似文献
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介绍了一种超精密车床位置精度的计算机辅助测试系统,利用激光干涉仪在线检测超精密车床伺服工作台线性定位精度.该系统利用了原有的控制装置和自行研制的与激光干涉仪的接口电路,通过数控编程实时对工作台的静态和动态位置精度进行检测,并分析了系统的测量精度. 相似文献
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介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点,介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧,重点阐述了如何在超精密加工的多个环节,如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉仪的作用。 相似文献
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本文以超精密模辊机床为研究载体,将具有代表性的环槽微结构阵列作为研究对象。通过多体系统理论以及齐次坐标变换的方法建立机床的几何误差模型从而得到几何误差对环槽微结构阵列的影响,并用激光干涉仪对几何误差分量进行了测量。在进行数据处理后提出了一种补偿方法使环槽微结构的加工质量得到了改善。 相似文献
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机床定位精度对磁流变抛光的影响分析 总被引:1,自引:0,他引:1
根据KDMRF-1000磁流变抛光机床的结构形式,建立机床坐标系.对机床进行运动求解,得到磁流变抛光机床后置处理算法模型.在此模型的基础上,分析了机床各轴定位精度对磁流变抛光加工的影响,进行仿真分析,得到了误差的影响规律和对机床的定位精度要求. 相似文献
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参考机床爬行的描述方法,对三坐标测量机的运动精度进行了分析。用激光干涉仪对某一轴的运动精度进行了测量,指出了此时影响运动精度的因素。提出了改进移动桥式三坐标测量机设计的措施。为移动桥式三坐标测量机实现高速测量状态下的高精度提供了依据。 相似文献
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Christian Cochand 《航空制造技术》2005,(6):110
机床制造者在制造机器时,总离不开一个极敏感的因素,即定位精度。在考虑整个实体的精度时,它是一个复杂的问题,涉及各个工作轴和参考点距离等问题。为了用激光检测加工中心的真实定位精度和重复精度,DIXI公司生产了DHP80系列和最新坐标镗加工中心JIG1200。按照VDI3441标准,实现恒温控制,机床无论是空载还是加工状态,都要有效地达到双向测量定位精度小于或等于3μm,在整个加工区域1m3的范围内均可达到精度要求,即实体精度。下面通过所采用的方法来证明这个精度的真实性。误差的放大。首先,应注意机床上可能安放几个测量位置,如果测量点… 相似文献
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柔性八杆对称联动定位机构及系统的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
王建林 《航空精密制造技术》2001,37(3):31-34
以柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为驱动器,提出了一种新颖的纳米级柔性八杆对称联动定位机构,给出了其刚度公式和动力学模型,结合激光干涉仪微位移检测装置,设计并研制了微机控制的数字闭环控制纳米定位系统。实验表明:该纳米定位系统行程 10μ m,定位精度优于± 0.03μ m,定位分辨率 3nm,最大定位时间 40ms。 相似文献
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激光干涉仪因其具有较高的测量精度而被广泛地应用。在使用激光干涉仪(以Agilent5529A激光动态干涉校准仪为例)测量工件的实际尺寸(长度)时,需要用测头去探触工件,以取得工件的实际位置,因此需要有一触发装置,来感知测头是否探触了工件。本文设计了一个触发电路,能够使激光干涉仪实现这一功能。 相似文献
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本文介绍了 SJD~3双频激光干涉仪配置微处理机动态测量系统的方法,对动态测量中的若干问题进行了探讨。该干涉仪配置动态测量系统后,提高了测量效率和测量精度。 相似文献
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在对SMART-CNC磨床几何误差建模及对某双频激光干涉仪工作原理分析的基础上,针对该磨床的误差参数辨识进行了实际测量中的应用,并以检测结果作为数控机床误差补偿的前提进行几何误差补偿。 相似文献
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描述了一台能够对长度达1m的线纹尺和长度达2m的光栅尺(线位移传感器)进行测量的激光干涉仪,干涉仪设计成了双干涉光路系统,以消除光栅尺安装引入的阿贝误差,这台测量仪采用干涉条纹计量原理,对光栅尺和线纹尺的线值精度进行检测,并能对光机信号的质量进行评价。测量过程中,对空气折射率实现了实时修正。 相似文献
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本文提出了一种通过检测数据重构自由曲面进行面形误差计算的方法。首先,通过轮廓检测设备,采用回转法测量自由曲面光学元件得到测量数据,然后,利用matlab进行重构算法实现,插值计算得到面形误差。最后,通过测量标准球面,将计算结果与激光干涉仪的结果进行对比试验,面形PV值符合,验证了该方法的有效性,为以后进行自由曲面磨抛加工提供了依据。 相似文献