激光干涉位移测量系统的环境误差补偿

激光干涉仪在长度测量领域应用十分广泛,然而其测量精度直接受环境的影响,特别是空气折射率变化会引入标尺误差。通过对激光干涉位移测量原理及其误差源的研究分析,建立了环境误差补偿模型,消除了零点误差和空气折射率误差。设计了分别适用于环境条件好、小量程测量的双干涉自补偿系统和适用于复杂环境、大量程测量的多点测量综合修正的补偿系统,对环境误差进行修正。     

三坐标测量机运动精度的描述

参考机床爬行的描述方法,对三坐标测量机的运动精度进行了分析。用激光干涉仪对某一轴的运动精度进行了测量,指出了此时影响运动精度的因素。提出了改进移动桥式三坐标测量机设计的措施。为移动桥式三坐标测量机实现高速测量状态下的高精度提供了依据。