微机械电子技术

本文综述了国外微机械电子技术的研究、发展和应用状况。并分析了该技术的发展前景。自动化、超精密加工、微机械电子技术是机械电子工业发展的三个方向。自动化技术和超精密加工技术已经得到了普遍的认识,并已进行了大量的试验研究。而作为与超精密加工技术相衔接的微机械电子技术则是一门刚刚开始研究的新课题。它是     

典型微机械材料的准分子激光加工特性

针对硅、聚合物和工程陶瓷等典型微机械材料 ,采用KrF准分子激光对其进行了加工技术研究 ,分析了加工规律 ,并探讨准分子激光最适宜的应用环境和条件     

考虑微加工误差的微机械陀螺的健壮性优化

 为减小微加工误差对音叉振动式微机械陀螺设计性能的影响、提高其批量性能稳定性，以对其加工后性能变异影响最大的若干关键参数为设计变量，在分析了几何约束条件、模态性能约束条件、基于模态的加工灵敏度约束条件的基础上建立了微机械陀螺健壮性优化的数学模型。在无需事先知道微机械陀螺尺寸／性能的详尽统计信息的条件下，采用一阶摄动技术和遗传算法实现了微机械陀螺的健壮性优化设计。     

微机械制造技术的现状、发展及应用前景

论述了微机械技术的现状和应用前景、微机械制造技术的重要性及其现状和发展趋势．     

微小孔加工技术及其进展

介绍了国内外电火花加工、电解加工、激光加工、超声加工、电子束加工等微小孔加工技术的研究与应用近况。     

航空微机电系统非硅材料微纳加工技术

随着对航空飞行器智能控制的迫切需求,硅基微机电系统MEMS(Micro-electromechanical Systems)传感器和执行器难以满足飞行器恶劣的运行环境,因而以碳化硅、氮化铝等为代表的多种MEMS特种材料被不断研究和使用.概述这些特种材料的机电特性有利于缩小特种传感器研发的材料选择范围;而针对兼具机械和电学两方面应用的碳化硅、氮化铝和聚合物前驱体陶瓷开展微纳加工技术的综述,有利于全面了解这3种材料的成型成性关键工艺,进而揭示从航空特种材料到MEMS器件的加工技术发展规律,为普遍使用电信号的航空特种传感器的研发提供加工手段借鉴.     

卫星微振动检测技术

微振动是限制高精密测试技术发展的关键因素之一,本文以微振动在航空航天技术方向的测量研究为基础,对微振动背景、测量技术进行了详细的阐释,在传统光学测量分析的基础上,分析了利用高精度微机械加速度计测量的可行性,最后就微振动测量技术的发展方向做出了总结。     

微细/微纳制造

正微细/微纳制造技术被视为先进制造技术的重要发展方向和多学科交叉的科技研究前沿,其中MEMS技术、微细切削、微钻孔等超精密机械加工技术以及电化学加工、微细电火花加工、超声波微加工等特种微细加工技术在航空领域应用广泛,相关加工工艺及新型材料的开发具有广阔的发展前景。     

微机械制造技术的研究及应用

介绍了微机械当前的研究现状和主要的微机械制造技术,重点讨论了微机械在航空航天领域的应用前景,最后提出了我国在此领域应采取的相应策略。     

微机械用材料及其特性

综述了硅材料、形状记忆合金、压电陶瓷、超磁致伸缩材料的微机械用材及其特性，并提出了微材料学概念，同时还介绍了微机械应用．     

微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评（下）

微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评（下）中国航空信息中心饶勤４微机械制造技术的发展及应用１．微机械制造技术及其应用（１）辅助加工技术包括金刚石微细切削、电火花加工和化学铣削等工艺，这类工艺能以较大的灵活性和较快的速度加工出形状多样的、尺寸在１０...     

微机械技术及其应用前景(上)

在80年代后期,国际高技术领域出现了一个值得重视的发展新动向——微机械技术(micromechanism),即微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem—MEMS)的崛起.微机电系统是体积非常小、重量很轻的机电一体化产品.其工作状况一般用肉眼是看不见的,必须借助于显微镜或专用仪器来观察.从产品角度看,它是利用微细加工技术将机构及其致动器、控制器、传感器、电源等集成在一个微小体积范围内发挥机械功能的机电一体化产品;从技术角度看,它是机、电、光、磁、化学、自动控制.传感技术与信息处理等多种技术     

微机械加速度计发展现状浅析

自微机电系统（MEMS）技术以IC工艺为基础发展以来,微机械加速度计便作为其中一个耀眼的应用实例大放异彩。在国外,上世纪九十年代就有低精度微加速度计产品,同时国内也开始了相关研究。时至今日,微加速度计已经按高精度、中精度、低精度三个精度等级分别发展。以麻省理工大学（MIT）Draper实验室为代表的一些国外机构已经研制出10-7g级别的高精度微加速度计样机并尝试在潜射导弹、洲际导弹再入等方面取得应用,乃至将来替代高精度摆式积分陀螺加速度计（PIGA）;以COLIBRYS、Honeywell等公司为代表的商业机构,依托自身科研能力,致力于将中精度微机械加速度计推出量产化的单表和组合成品并推向低端军用和高端民用市场;以AD、ST等公司为代表的跨国公司,依托自身工艺线,推出大量的微机械加速度计,占领了消费电子市场。国内的研制分工也越来越细化,技术路线、行业分工、研究内容、需求牵引都越来越明确,其中压阻式、热对流式微机械加速度计已经产业化,微机械加速度计已有小批量的产品,硅微谐振式加速度计也显示了很好的发展前景。本文试对发展现状进行了简单评析。     

微机械加速度计

本文论述微机械加速度计,主要介绍它们的工作原理和设计规范,以及各种装置的结构,装配技术以及设备的技术,封装和界面电子电路,还有微机械惯性传感器在商业化过程中的发展行情,惯性传感性能在不断提高,如今的微加速度计的分辨率达ug级,电路和封装技术的发展满足了惯性传感器发展的需求。     

微磨料气射流加工技术研究现状与展望

微磨料射流加工技术是一种基于高能流体的磨粒冲蚀磨损加工技术,已广泛应用于难加工材料、复杂三维型面、光滑表面的加工。为进一步提高磨料射流加工过程中的精准控形控性能力,国内外学者开展了诸多基础加工理论与工艺探索等方面的研究工作。本文在概述磨料射流加工技术发展的基础上,全面总结了国内外学者在微磨料气射流加工（MAJM）技术中的微磨料气射流束发散效应及其抑制策略、材料力学性能对材料冲蚀去除模式的影响、材料冲蚀加工过程磨料嵌入抑制策略、微结构冲蚀加工几何特征等方面的主要研究成果,并对微磨料射流加工技术的难点与发展趋势进行了展望。     

微机电系统MEMS仿真与建模

微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域,随着建模与仿真技术的迅速发展,研究有关微机电系统建模与仿真的基本理论和方法。     

微机械惯性技术的发展与展望

通过对微机械惯性器件研制生产方式、国内外技术发展现状的阐述和分析，对未来的技术发展趋势和多项核心技术进行展望评述，对该领域的国内预先研究工作有借鉴意义．     

微纳制造技术的发展现状与发展趋势

微纳技术一般指微米、纳米级(0. 1-100nm)的材料、设计、制造、测量、控制和产品的研究、加工、制造以及应用技术.在基础科研以及制造行业中,微纳制造技术的研究从其诞生之初就一直牢据行业的尖端位置. 那么,我国的微纳制造技术研究现状怎样?面临着哪些急需解决的问题?微纳制造技术属于高、精、尖技术研究,与普通百姓的生活有没有关联?微纳制造技术研究对于我国的国防科技工业有什么重大意义?     

高过载微惯性器件研究现状

微惯性器件是目前制导战术武器的核心元器件,具有成本低、体积小、寿命长等优点,但是其如何在火炮膛内、侵彻着靶等过程中存活甚至正常工作,一直是各军事大国科研院所发展精确打击制导武器的重要研究方向。查阅了相关国内外文献,然后详细评述了目前关于应用于高过载环境下的微机械陀螺与微机械加速度计研究现状,指出了目前高过载环境微惯性器件的发展趋势与各国的研究进程,为我国发展高过载微惯性器件提供了方向与指导。     

国产硅微机械陀螺仪比对测试

日前,北京长城计量测试技术研究所惯性技术研究室对电子十三所和中科院上海微系统所研制的国产硅微机械陀螺仪开展了比对测试工作,依据《国产硅微机械陀螺仪测试大纲》,对两家比测单位提供的几只陀螺仪进行了全部的参数测试和环境试验（主要是振动和冲击）,并负责编制了《国产硅陀螺仪测方法及计划》。