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| 典型微机械材料的准分子激光加工特性 | |
| 引用本文： | 李晓莹,马炳和,苑伟政.典型微机械材料的准分子激光加工特性[J].航空制造技术,2000(2):26-27. |
| 作者姓名： | 李晓莹 马炳和 苑伟政 |
| 作者单位： | 西北工业大学 |
| 摘 要： | 针对硅、聚合物和工程陶瓷等典型微机械材料 ,采用KrF准分子激光对其进行了加工技术研究 ,分析了加工规律 ,并探讨准分子激光最适宜的应用环境和条件 |
| 关 键 词： | 微机械材料 准分子激光 加工特性 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
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