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| 微机械惯性技术的发展与展望 | |
| 引用本文： | 李浩敏.微机械惯性技术的发展与展望[J].自动驾驶仪与红外技术,2008(1):15-17. |
| 作者姓名： | 李浩敏 |
| 摘 要： | 通过对微机械惯性器件研制生产方式、国内外技术发展现状的阐述和分析，对未来的技术发展趋势和多项核心技术进行展望评述，对该领域的国内预先研究工作有借鉴意义． |
| 关 键 词： | MEMS 加工技术 多轴单片集成 闭环检测 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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