液体静压导轨及其驱动系统的研究

超精密机床的性能,取决于关键部件的质量。本文对超精密机床关键部件液体静压导轨及其驱动系统的研究进行了叙述。     

基于激光传感器的液体静压导轨模态仿真与测试方法研究

在超精密加工设备中,超精密液体静压导轨是其关键部件.影响导轨性能的因素有很多,随着加工精度的不断提高,导轨的动态特性成为了不可忽视的因素之一,导轨模态性能测试的准确性更成为其关键.本文采用某型激光传感器对液体静压导轨进行频谱响应测量,测量精度高,测量准确.     

某型超精密机床液体静压导轨温控设计与仿真方法研究

针对某型超精密机床液体静压导轨温度控制进行深入研究,提出多种不同的温度控制方法,并应用ANSYS仿真软件分别对液体静压导轨热变形进行了仿真,得出了不同温度控制方法下导轨的热变形大小。仿真结果显示,针对不同使用环境,通过不同的温度控制方法,对液体静压导轨进行热变形控制,从而满足超精密机床的使用要求,提高超精密机床的加工精度。。     

液体静压导轨热特性有限元分析

为了减少超精密机床中液体静压导轨热变形对机床加工精度的影响,本文建立了液体静压导轨动导轨有限元模型,利用有限元分析软件ANSYS对动导轨在不同工作环境下做不同运动时的热变形进行仿真分析,仿真结果表明,当动导轨做高速变加速运动时,动导轨热变形较大,会对加工精度产生较大影响,为此,提出了降低液体静压导轨热变形的方法.     

利用滚珠丝杠的微动特性实现纳米级定位

对用于超精密机床传动的滚珠丝杠的微动特性进行了实验研究，建立了它的数学模型，并在此基础上，进行了超精密位置伺服控制实验。实验结果表明，利用滚珠丝杠的微动特性可以实现纳米级定位     

二维精密微动刀架的研制

研制了一台由压电陶瓷驱动、Y向微调对刀装置及夹紧汽缸组成的X-Z二维精密微动刀架,并建立了微动刀架的数学模型。经实验测试刀架分辨率达到5nm,重复定位精度达到±0.01μm,满足超精密加工的要求。     

超精密车床液体静压主轴环境动态测试系统设计

本文介绍了超精密车床液体静压主轴环境动态测试系统的用途。设计了系统的总体方案,详细介绍了硬件电路,并基于Measurement Studio软件包和DAM3000M接口开发了测控软件。     

超精密平面磨床设计中的关键技术

介绍了超精密平面磨床设计中的主要关键技术．主轴及Ｘ．Ｙ．Ｚ轴导轨均采用了气体静压成液体静压轴承，采用误差补偿技术对Ｘ．Ｙ轴导轨误差进行补偿，三轴均由ＣＮＣ系统控制．设计了分辨率为０．０１μｍ的砂轮特殊微量进给装置，并应用了砂轮电解在线修整（ＥＬＩＤ）技术．     

液体静压导轨对置油垫承载能力及刚度的优化设计

对应用于精密加工和超精密加工机床中的液体静压导轨的承载能力和刚度进行了定性和定量分析计算,并提出对其优化的方法。     

基于超精密应用的高刚度高阻尼空气静压导轨研究

介绍了一种采用多孔质节流的新型空气静压导轨,其刚度可以达到400N/μm或者更高,具有这种刚度的空气静压导轨可以取代液体静压导轨,广泛应用于超精密机床中.     

精密偶件超精密外圆磨床

精密偶件在航空、航天、航海等先进武器系统中应用广泛,本项目主要是提高偶件加工精度,从而解决偶件类零件装配的互换性及可靠性。项目在精密偶件的超精密加工技术方面取得了一系列重要突破,研究成果填补了国内空白,使我国在精密偶件的加工装配水平跃上了一个新台阶,进入了国际先进行列。超精密外圆磨床采用天然花岗石,导轨、砂轮轴、头架等均采用高强性、高阻尼液体静压轴承技术,加工工件圆度可达0.1～0.3μm。精密偶件超精密外圆磨床     

超精密小直径非球面磨床

据日刊介绍,第16届日本国际机床展览会上展出多种超精密磨床。东芝机械展出有ULG—100A(H)超精密非球面磨床。目前,非球面磨床多数是以加工大直径反射镜为主的,采用液体静压导轨、空气静压导轨和激光反馈等构成的大型超精密磨床。但当前日本的非球面加工对象主要是摄像机和激光唱机所用的小直径透镜的模具,因此,为适应市场的需要,东芝机械开发出ULG-100A(H)超精密非球面磨床。     

大量程纳米分辨率超精密测径仪

提出了一种新型可以测量孔和轴直径的超精密测量仪，该超精密测径仪主要由炫耀光栅和气浮导轨及红宝石探头组成，采用接触式绝对测量方法。介绍了环境温度的控制和减小环境振动的手段，以保证测量的精度和重复性。这种新型测径系统分辨率可以达到1nm,量程范围可达 0～100mm。     

简讯

日本FANUC公司最近研制成功了5轴控制超精密纳米机床(FANUCROBOnanoUi),该机床主要有以下特点:1.所有驱动部分采用静压空气轴承,真正实现了“无摩擦伺服系统”。机床不仅对于拖板导轨部分,而且还包括进给丝杠、螺母甚至电机内部轴承都采用了空气静压技术。轴承间隙一般都控制在5μm以内,从而保证了机床的总体刚度。同时从消除振源入手解决了机床的振动问题。2.控制温升:机床由于没有摩擦环节,所以各轴电机的功率总计只有5W,而且其中90%是电机编码器的前置放大器消耗的。同时采用空气冷却电机线圈和放大器线路板真正消除了热源。本机…     

在机床设备改造中要大力推广应用液体静压技术

近年来,液体静压技术的应用,发展迅速。在老设备改造和专业设备制造中,已经开始试验、应用了静压轴承、静压导轨以及静压丝杠等。尤以静压轴承采用得更为普遍,国内一些单位已经实现大面积的推广应用。静压轴承,就是从油泵输送压力油经过节流器进入到轴承的油腔中,将转轴轴颈悬浮在     

基于有限元的某专用升降台驱动丝杠稳定性分析

某专用升降台采用三点支撑结构,采用电机驱动减速器和丝杠进行升降运动。在升降过程中升降台的三个驱动丝杠承受压曲负荷。为了使驱动丝杠在轴向最大压曲负荷时不发生屈曲,本研究基于有限元进行了驱动丝杠的稳定性分析、计算,最终确定丝杠轴轴径尺寸。     

气体静压丝杠误差均化作用的研究

建立了丝杠螺母副的传动误差计算模型,并在此基础上分析了气体静压丝杠的误差均化作用与螺母有效长度、丝杠误差周期的关系,为气体静压丝杠螺母副的设计加工提供了必要的基础。     

双排液体静压轴承在C616车床上的应用

我厂工具车间有不少高精度的小孔和高精度的小轴零件需要精密车削。为此,采用双排液体静压轴承改装了一台普通的C616车床,满足了生产的需要。一、双排液体静压轴承的结构特点(见图1所示) 1.主轴的前轴承改成双排液体静压轴承,后轴承仍为原来的滚动轴承。原因是考虑到主轴的受力情况,主辅的回转精度主要取决于前轴承,同时后轴承处的结构对于布置液体静压轴承比较困难。     

滚珠丝杠在超精密定位中的应用

通过分析滚珠丝杠驱动机构的特点,对目前利用这种驱动方式实现大行程的具有纳米分辨率的定位系统的关键技术进行论述。     

新型超精密平面磨削微量进给装置的研制及其特性研究

介绍了一种用于超精密平面磨削的新型微量进给装置并对其静、动态特性及控制方法进行了研究。实验结果表明：该装置的位移分辨率为１０ｎｍ，重复精度可达００５μｍ。采用“速度前馈＋ＰＩＤ”控制方法后，系统动态特性得到显著提高。