大量程纳米分辨率超精密测径仪

提出了一种新型可以测量孔和轴直径的超精密测量仪，该超精密测径仪主要由炫耀光栅和气浮导轨及红宝石探头组成，采用接触式绝对测量方法。介绍了环境温度的控制和减小环境振动的手段，以保证测量的精度和重复性。这种新型测径系统分辨率可以达到1nm,量程范围可达 0～100mm。     

超精密偶件测量仪的误差运动综合数学模型

把超精密测量机床误差元素分为几何运动误差和热变形、接触变形等非刚体效应误差,利用齐次坐标变换方法结合测头与工件之间联结链的封闭特性,给出了超精密偶件测量仪几何和热误差以及探头和工件接触变形误差的综合数学模型.     

基于神经网络预测的柱径特征点检出

针对峰值法中测量路径规划问题,提出了基于参数模型学习的神经网络预测器。通过预测器对测量路径的优化,测量系统的柱边特征点检出效率提高了近十倍以上。     

隔振设计在超精密加工与测量中的应用

较为系统地论述了振动来源,及根据超精密加工与测量的防微振设计要求,介绍了目前常采用的积极隔振与消极隔振设计方法与实现技术。