微压压力传感器的结构改进

硅压力传感器具有小型和高灵敏等的优点，近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到１ｋＰａ。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用，本文介绍了作者首先提出了适用于微压压力传感器的梁膜（岛）结构以及以后几年来出现的相近的结构，用这些结构都已制成量程为１ｋＰａ的压力传感器 。     

小型高精度张丝压力传感器

为了适应航空工业发展的需要,努力发展和研制新的航空产品测试设备,提高航空产品测试水平,有着十分重要的意义。压力传感器在风洞试验、飞行试验、发动机试验和其它压力参数测试方面,都有着重要的应用。尤其是小型化、高精度、低量程的压力传感器,需要尤为迫切。YL—01小型高精度张丝压力传感     

一种用于飞机试验台的三分力传感器

多分力载荷传感器是一种常用的传感器,但通常当各分力的量程相差太大时难以取得良好的效果。提出了一种新型传感器结构形式,减少了各分力之间的耦合,使得在各分力量程不匹配的情况下亦可获得较高的测量精度。     

压气机进口压力畸变场测试用传感器实时校准系统研究

介绍了压气机进口压力畸变场测试用传感器实时校准系统的技术要点、系统构成和校测结果。表明采用该系统后，能在保证测试精度前提下节省测压系统经费，适用于压力传感器多，量程一致的的压力测试中。     

硅谐振梁式压力微传感器边界结构参数优化

对一种硅谐振式压力微传感器敏感结构的边界结构参数进行了优化设计。所讨论的敏感结构以方形硅膜片作为一次敏感元件,直接感受被测压力。在膜片的上表面制作浅槽和硅梁,以硅梁作为二次敏感元件,间接感受被测压力。为减少敏感结构内外能量耦合,提高振子的Ｑ值,采用有限元仿真分析的方法,优化敏感边界结构参数。     

微谐振式压力传感器的差动输出设计与建模

提出一种应用于微谐振式压力传感器的敏感结构,其一次敏感元件为矩形硅膜片,膜片的上表面架设有三个两端固支的硅谐振梁,间接感受压力作用,根据膜片上不同位置设置的硅谐振梁的固有频率对于压力变化有不同的变化规律的特点,实现对被测压力的差动输出检测。针对这种结构,建立被测压力与谐振梁固有频率的数学模型。设计实际尺寸参数进行计算分析,得出谐振梁的分布位置和几何参数对其振动特性的影响规律,给出了由差动输出解算压力的公式,验证了所提出的结构的设计思想和优化参数的可行性。     

梁-膜结构微压传感器研制

由四个弹性梁和一个刚性中心膜构成的梁-膜结构,具有平面应力集中效应,与一般的结构相比,这种膜片在受到微压时即产生较大的应力集中,使传感器在测量微压时有较高的灵敏度,它的特别的结构能解决一般结构膜片在很薄时由膜应力和弯曲应力产生的严重的非线性。介绍的这种双面腐蚀形成的梁-膜结构的硅压阻式微压传感器的设计就是采用这种应力集中原理,芯片结构的力学特性分析及样件测试结果表明,这种结构的微压传感器具有较高的灵敏度和较低的非线性,成功地实现了对微小压力的测量。利用有限元仿真计算对用于100Pa压力测量的梁-膜结构硅压力传感器的结构参数进行优化,并对芯片版图设计、制作工艺技术和传感器的特性等问题进行了讨论。     

大压力高精度谐振筒传感器设计

介绍用于测量高低温环境下高压气体绝对压力的传感器的设计,传感器采用谐振筒式敏感元件和数字量输出方式.量程满足0.02～4.0MPa,精度优于±0.05%FS,可在-55～150℃的较宽温度范围内可靠工作.该传感器可用于飞机发动机的电调系统,测量发动机不同位置的压力.文中主要论述了谐振筒的设计方法,确定了宽温大压力高精度...     

铍青铜弹性元件的改坯工艺

本文介绍了以低精度轧机解决弹性元件用高精度铍青铜坯料的工艺。在引进国外的某系列产品的国产化生产过程中,所遇到的弹性元件的种类较多,均为薄壁冲压件。这些元件不仅批量大,尺寸精度要求高,几何形状复杂以及弹力数值的公差范围较窄,而且耐疲劳寿命的要求也较高,以确保温控器20万次以上开关动作的要求及温控动作参数的稳定。     

简易真空炉

本文介绍了简易真空炉的基本结构及使用方法。活动式真空室和两点测温以及双水冷结构,是本设备的特点,只要严格控制工艺参数,就能确保产品质量。该设备造价低、使用方便。另外,本文对精密弹性元件的真空热处理进行了探讨,并以铍青铜弹簧片的生产实践为例,与普通热处理炉的时效作了对比,证明了真空热处理具有无氧化、变形小、确保尺寸精度和机械性能等优点。     

航空矢量喷管测试平台用六分量盒式天平结构设计

为了满足航空发动机推力矢量高精度测量的需求,研制了一种结构紧凑的能够实现推力矢量彻底分解的六分量盒式天平.该天平关键结构包括:三维传感器、固定框和浮动框.其中三维传感器的弹性体采用串、并联组合的结构型式.基于有限元分析,对传感器弹性体的设计进行了模拟,结果显示传感器各测力元件对本分量载荷作用敏感程度均远高于其他分量,支撑元件也较好地阻隔了各测力元件之间的相互干扰,该结论也通过了传感器的校准验证.六分量盒式天平整体的刚度和模态分析结果:天平无需做弹性角修正;1阶固有频率为218.8Hz,高于设计指标180Hz.六分量盒式天平校准表明:天平各分量精确度优于3‰,准确度优于5‰.      

基于单叶双曲面的标准Stewart并联结构六维力传感器各向同性优化设计

基于Stewart并联结构六维力/力矩传感器在空间六维力的准确检测上具有广泛前景,设计低耦合、高精度、易于标定和使用的六维力/力矩传感器是其结构设计的关键问题.传统Stewart并联结构几何参数描述为6个相互耦合的变量,不利于实现设计参数与设计指标的解耦,而且非正交条件下的各向同性使得六维力/力矩传感器仍存在耦合,为此...     

双端固支石英振梁力频系数与热弹性品质因数分析

双端固支石英振梁作为微型谐振式石英传感器的核心敏感元件，其力频系数和品质因数对传感器的灵敏度和分辨率具有重要的影响。石英振梁的力频系数越高，同等条件下传感器的灵敏度也越高；振梁品质因数越高，传感器的分辨力亦越高。对于工作于一阶振动模态的石英振梁而言，力频系数与热弹性品质因数仅与其自身的结构尺寸参数有关。通过分析发现，石英振梁的力频系数与热弹性品质因数之间存在一定的矛盾。详细分析了石英振梁力频系数与热弹性品质因数的特点及两者之间的定量影响，给出了两者的理论模型与仿真方法，建立了力频系数-热弹性品质因数的目标优化函数。分析结果表明，在音叉尺寸范围内，目标优化函数值从0.064增加为0.64，且变化趋势与品质因数相类似。最后，分析了在设计用于微型谐振式石英传感器的双端固支石英振梁时该如何获得最佳的传感器性能。     

石英振梁加速度计研究现状及发展趋势

石英振梁加速度计是一种基于振梁谐振和力频特性原理的新型全固态惯性传感器，具有高精度、大量程、低功耗、直接频率脉冲输出等突出特点，已被广泛应用于战术武器系统。简要介绍了石英振梁加速度计的工作原理、技术特点，梳理了分体式和一体式两种仪表结构的研究现状和关键技术。结合国外研究发展趋势，指出石英振梁加速度计将成为后续达到摆式积分陀螺加速度计精度和抗辐照指标、满足战略级需求最有可能的加速度计方案。     

基于DSP的一体化交流伺服系统研究和实现

针对当前伺服系统采用的角度传感器进行AD采样和换算后得到电机速度,无法很好满足速度实时性要求.同时位置反馈元件线性度低、反馈信号易受干扰,因此导致伺服系统稳定性很难保证。结合目前伺服系统存在速度闭环差、结构转换效率低、抗干扰能力弱等问题,提出一种伺服电机与减速机构、旋转变压器一体化设计的方案。通过试验证明,该伺服系统具有控制精度高(最高可达16bit精度)、抗干扰能力强等特点,符合未来电动伺服系统发展的研究方向。     

加速度计自动测试系统精密轴系设计

详细介绍了加速度计自动测试系统的重要组成部件——精密轴系（密珠轴承）的工作特点和结构设计;给出了密珠轴承的基本参数设计值和接触弹性变形、支承刚度。本文为密珠轴承应用在各种精密转台上提供了理论依据和设计参考。     

一种高精度小型化星敏感器设计

星敏感器是以恒星为参照系,以星空为工作对象的高精度空间姿态测量装置,提供准确的空间方位和基准,具有高精度、无漂移、工作寿命长等特点.针对星敏感器高精度和小体积的应用需求,基于小型化镜头设计、分体式结构、高集成度电路、"FP GA+ARM"软件等内容,提出了一种高精度小型化星敏感器,解决了狭小空间高度集成的小型化问题,实现了测姿0.6″(3σ)的高精度预期目标.星敏感器样机通过了试验考核,性能符合设计要求,具备全天球搜索恒星定姿的能力.     

基于有限元的超精密空气静压主轴最佳综合刚度设计

超精密空气主轴的刚度是超精密主轴的一个非常重要的指标,轴承的结构形式、气膜结构参数均对刚度指标有影响。本文通过工程计算得到气膜刚度等参数后,在特定空间尺寸和重量的限制条件下,基于有限元进行Nanosys-600F五轴超精密机床的气浮主轴(C轴)机械结构设计,通过多次分析,得到了气浮主轴(C轴)最佳综合刚度结构参数。