谐振式科里奥利质量流量计

对谐振式科里奥利质量流量计的基本敏感机理进行了论述.基于典型的U型管敏感结构,建立了谐振式直接质量流量计的数学模型,给出了检测质量流量的信号解算模型,设计了一种信号解算电路并研制了相应的样机.实测结果表明:所研制的信号检测电路的测量误差小于0.1％,具有一定的实用价值,为样机研制提供了具有一定参考意义的理论和实验研究结果.     

硅谐振梁式压力微传感器边界结构参数优化

对一种硅谐振式压力微传感器敏感结构的边界结构参数进行了优化设计。所讨论的敏感结构以方形硅膜片作为一次敏感元件,直接感受被测压力。在膜片的上表面制作浅槽和硅梁,以硅梁作为二次敏感元件,间接感受被测压力。为减少敏感结构内外能量耦合,提高振子的Ｑ值,采用有限元仿真分析的方法,优化敏感边界结构参数。