微机械加速度计发展简述

本文以联合研制成果，介绍了微机械加速度计的工程化研制情况及国内微机械加速度计发展现状。     

微机械加速度计的温度特性实验研究

在温度对加速度计的影响方面主要通过开机特性实验、线性度实验以及温度模型的建立研究了零位加速度计输出的重复性、稳定性与温度的关系、不同温度下的线性度、零位加速度计输出的温度模型。     

一种新的微型表面微机械隧道式加速度计

作者已征税出一种新的微型表面微机械隧道式加速度计。加速度计的结构是在单晶硅片上产生出来的，由含有静电偏转电极的单个悬臂梁及其下面的隧道式顶部组成。在空气中，１００μｍ和２５０μｍ长的悬臂梁的噪声分辨率在５００Ｈｚ条件下分别为８．３×１０＾－４ｇ／Ｈｚ＾１／２和８．５×１０＾－５ｇ／Ｈｚ＾１／２。该器件使用一种低噪声自动伺服控制电路，以力再平衡伺服状态工作，所提供的动态量程为１０＾４ｇ。这种新的加速     

导航控制系统用硅传感器的开发

当前，硅微机械器件引起导航与控制系统传感器开发者们越来越密切的关注，微硅加速度计和角速率传感器最根本的优势在于其体积小，功耗低，相对成本较低，而且与微电睡的组合成本低，可实现。本文介绍了ＲＤＣ在微硅加速度计和多用传感器研制方面的成果，介绍了硅平衡式加速度计和频率输出型开环加速度计的基本特性，同时，探讨了今后导航和控制系统中硅微机械应用的技术路线。     

浅谈三种电容式微加速度计的空气阻尼

为明确梳齿电容式与"三明治"电容式微加速度计的噪声极限与相关的三类结构形式对应的微机械加工工艺影响,着重分析了三种工艺实现下的典型参数微加速度计的大气环境下空气阻尼情况,并剖析了不同的结构形式与不同的加工工艺对结构型式的约束和对精度极限的限制.为说明由尺度效应带来的微加速度计受空气阻尼影响而产生的远大于传统加速度计的机...     

石英振梁加速度计概述

随着惯性技术的发展，它的方向发生了新的变化，微机械技术日益占据重要的地位。石英振梁加速度计正是这样的一种微机械惯性仪表，因此有必要对其进行以下全面描述。在这篇文章中介绍了惯性技术的发展方向，石英振梁加速度计的发展状况、基本原理、主要构成和主要材料、主要优点，其研制的主要技术、途径也被提到，并进行了简单的精度分析。     

硅谐振式加速度计(SOA)的技术及发展

硅谐振式加速度计（SOA）精度高,稳定性好,数字输出,且体积小,成本低,易于集成,是新一代的微小型加速度计,具有极佳的应用前景。介绍了SOA的结构原理和发展概况,从谐振器,微杠杆,加工工艺,改变刚度方式,激励和检测方式等几方面对SOA的关键技术进行了综述。分析了SOA的机械耦合,加工工艺误差,梁弯曲刚度非线性等三大技术难点,并提出解决方案。最后对SOA的发展趋势进行了展望。     

一种新颖的无陀螺捷联惯性测量系统方案

惯性界普遍都在寻找低成本的惯性导航方案，由加速度计组成的（无陀螺）惯性系统便是方案之一。本文介绍了用加速度计测量角速度的基本原理，对以微机械加速度计实现陀螺原理的方案的误差进行了分析，并提出了一种新颖的无陀螺捷联惯性测量系统方案。     

面向无人机的单芯片惯性测量组合

针对无人机对惯性测量组合的小尺寸、轻重量的需求,设计实现了芯体为1cm3的微小型单芯片的硅微惯性测量组合。论文提出了一种基于体硅深刻蚀—玻璃键合工艺的单芯片惯性测量组合结构,该结构集成了六个异构的单轴惯性器件,可实现运动载体的六自由度运动信息测量。单芯片惯性测量组合中的陀螺器件两个模态的的振动频率实现了较好的匹配,加速度计器件分辨率达到了0.93mg。测试结果表明该单芯片惯性测量组合有望实现高精度的惯性量测量,在无人机上有很好的应用前景。     

卫星微振动检测技术

微振动是限制高精密测试技术发展的关键因素之一,本文以微振动在航空航天技术方向的测量研究为基础,对微振动背景、测量技术进行了详细的阐释,在传统光学测量分析的基础上,分析了利用高精度微机械加速度计测量的可行性,最后就微振动测量技术的发展方向做出了总结。     

使用调制后的综合差分光学传感的微机械加速度计的比较性研究

本论文讲述了一种新型微机械加速度计的装配和特性，这种加速率计使用了一种新的传感技术，用调制后的综合差分光学传感（MIDOS），以探测它们检测质量的位移输出，此文讲述了混合电路装置的装配过程，这个装置由一个由铟撞击一个含有光电探测器的一个CMOS集成电路片而连接的总的微型机械部分和数字显示装置的电子线路组成，且装配了一些光电元件，并赋予它们特性。本文仔细讨论了光电元件间的差异以及它们测量特性间的比较（噪音等效加速度（NEA），带宽和线性），光电元件演示了带宽1KHz-4KHz，范围70（ug/√Hz)-1(mg/√Hz）的噪音等效加速度。     

一种微加速度测量系统——全量程测试的结果及展望

本文给出在光子－１１号宇宙飞船上的微加速度测量的结果，此飞船准备用于失重条件下的科学实验和工艺动作。这些测量是通过一个微加速度测量系统Ｓｉｎｕｓ－６ｋ进行的。本文讨论了试验研究得到的数据的分析结果，并展望了一种更好的微加速度测量系统Ｓｉｎｕｓ－１５ｋ，该系统是为将要在１９９９年夏季发射的光子－１２宇宙飞船而设计的。     

硅微加速度计控制系统设计

由于静电场的负刚度导致控制回路系统的不稳定,因此静电力闭环硅微加速度计控制系统设计是硅微加速度计技术的关键核心技术,也是硅微加速度计设计的难点技术之一。在硅微加速度计项目研制过程中,我们解决了仪表回路系统的稳定性问题、高增益和带宽的问题,保证了仪表启动的快速性、精度和稳定性。     

1微g加速度计测试站的研制

本文介绍巴西海军研究所研制的加速度计测试站的特点和性能，该测试站的主要特点包括很多方面，其中主要的有设备研制、机械和电气设备安装等。这诸多特点使它有可能敏感和分辨世界范围内质量最好的加速计（分辨率为1微g左右）。     

梳状电容式微加速度计温度性能优化

零偏温度漂移是影响高精度MEMS加速度计整体性能的关键指标，敏感结构机械零位的温度漂移和电路零位(电容检测电路）的温度漂移是加速度计零偏温度漂移的直接原因。分析了影响加速度计零偏温度系数的3种主要影响因素，提出了某型加速度计伺服电路温度性能测试筛选方法，有效减小了电路零位的温度漂移。采用了全硅表头，同时对表头封装粘接方式进行优化，大幅减小了表头机械零位的温度漂移。经过这些优化措施后，加速度计的温度性能得到了明显改善，零偏温度系数由1.3mg/℃减小到0.5mg/℃，零偏的常温稳定性(1h）达到0.108mg，重复性(6次）达到0.141mg。     

浅谈微加速度计的整流误差

为明确微机械加速度计在振荡输入过程中直流输出的情况,着重分析了静电力反馈电容式微加速度计振荡频率低于微加速度计带宽和在微加速度计带宽附近两种情况下的失衡机理。为说明微加速度计与传统加速度计的整流误差差异,对两种整流误差的情况进行了半定量计算。本文的结论说明了微加速度计与石英挠性加速度计等传统惯性仪表在整流误差方面的区别;在此基础上,引申出由于整流误差决定不同种类的微加速度计有着不同标定要求和适用范围的结论。     

硅微加速度计在动态测斜中的应用

现代工程中常常需要对平面的水平或斜度进行测量。目前普遍使用的测斜仪器主要有水泡式、电容传感器式、电位计传感器式等。它们测量精度低，易受外界环境的干扰，响应速度慢，难以满足实时性高的动态测量要求。本文介绍了硅微加速度计在动态测斜中的应用，叙述了应用中的几个关键技术问题，并给出了实地测量的结果。本文最后指出。硅微加速度计应用于动态测斜完全可行，通过合理的系统设计，可获得较高的精度。     

微机械加速度计发展现状浅析

自微机电系统（MEMS）技术以IC工艺为基础发展以来,微机械加速度计便作为其中一个耀眼的应用实例大放异彩。在国外,上世纪九十年代就有低精度微加速度计产品,同时国内也开始了相关研究。时至今日,微加速度计已经按高精度、中精度、低精度三个精度等级分别发展。以麻省理工大学（MIT）Draper实验室为代表的一些国外机构已经研制出10-7g级别的高精度微加速度计样机并尝试在潜射导弹、洲际导弹再入等方面取得应用,乃至将来替代高精度摆式积分陀螺加速度计（PIGA）;以COLIBRYS、Honeywell等公司为代表的商业机构,依托自身科研能力,致力于将中精度微机械加速度计推出量产化的单表和组合成品并推向低端军用和高端民用市场;以AD、ST等公司为代表的跨国公司,依托自身工艺线,推出大量的微机械加速度计,占领了消费电子市场。国内的研制分工也越来越细化,技术路线、行业分工、研究内容、需求牵引都越来越明确,其中压阻式、热对流式微机械加速度计已经产业化,微机械加速度计已有小批量的产品,硅微谐振式加速度计也显示了很好的发展前景。本文试对发展现状进行了简单评析。